1251
ïìîĞ
ć
øĂ÷êŠ
ĂóĊ
-đĂĘ
î đðŨ
îßĉĚ
îÿŠ
üîìĊę
öĊ
ÙüćöÿĞ
ćÙĆ
â×ĂÜĂč
ðÖøèŤ
Ăĉ
đúĘ
ÖìøĂîĉ
ÖÿŤ
Āúć÷ßîĉ
é êĆĚ
ÜĒêŠ
ĕéēĂé ìøćîàĉ
ÿđêĂøŤ
ĕðÝîëċ
Ü
üÜÝøøüö integrated circuit) Öćøýċ
ÖþćĒëïߊ
ĂÜüŠ
ćÜóúĆ
ÜÜćî×ĂÜÿćøÖċę
ÜêĆ
üîĞ
ćöĊ
ÙüćöÿĞ
ćÙĆ
âđðŨ
îĂ÷Š
ćÜ÷ĉę
Ü đîČę
ĂÜÝćÖđðŨ
î
óćøćöĉ
đêĂøŤ
ìĊę
öĊ
ÙüćöÿĆ
öóĆ
îíŤ
ēé÷êøÜÖĆ
ïÙč
èÿöïĆ
êĉ
ìćÜĂĉ
đúĘ
ÖìøĂîĉ
ÖÿŤ
×ĂÜöĆ
î àċę
ÜîĆ
Öýċ
Öþćôŗ
ÿĉ
ÖÿŤ
øąéĆ
ïðøĉ
âćêøĊ
ÝĞ
ćđðŨ
îêš
ĂÜ
đך
ćĔÝìĆĚ
ÜĔîđßĉ
ÜìùþãĊ
ĒúąÖćøìéúĂÜ ÖćøĀćÙŠ
ćĒëïߊ
ĂÜüŠ
ćÜóúĆ
ÜÜćîöĊ
Āúć÷üĉ
íĊ
[1-3] đߊ
î üĉ
íĊ
đßĉ
ÜĒÿÜ üĉ
íĊ
üĆ
éÙŠ
ćÿõćóÙüćö
êš
ćîìćî ĀøČ
Ă üĉ
íĊ
ēôēêĂĉ
đúĘ
ÖêøĂî ÿđðÖēêøÿēÙðŘ
đðŨ
îêš
î ĒêŠ
Ĕîøć÷ÜćîÞïĆ
ïîĊĚ
ĕéš
îĞ
ćđÿîĂüĉ
íĊ
ÖćøìéúĂÜĂ÷Š
ćÜÜŠ
ć÷đóČę
ĂĀćÙŠ
ć
Ēëïߊ
ĂÜüŠ
ćÜóúĆ
ÜÜćî×ĂÜÿćøÖċę
ÜêĆ
üîĞ
ćàĉ
úĉ
ÖĂîìĊę
ĔĀš
ñúÖćøìéúĂÜìĊę
÷ĂöøĆ
ïĕéš
ēé÷ÖćøÝŠ
ć÷ÖøąĒÿÙÜìĊę
ĔĀš
ÖĆ
ïøĂ÷êŠ
ĂóĊ
-đĂĘ
î×ĂÜ
ĕéēĂé Ýċ
ÜÿćöćøëĔßš
Ăč
ðÖøèŤ
ìĊę
öĊ
Ă÷ĎŠ
Ēúš
üĔîĀš
ĂÜðäĉ
ïĆ
êĉ
ÖćøóČĚ
îåćîöćÝĆ
éđðŨ
îßč
éìéúĂÜĕéš
ìùþãĊ
ÙüćöÿĆ
öóĆ
îíŤ
øąĀüŠ
ćÜÖøąĒÿĒúąýĆ
Ö÷Ť
ĕôôŜ
ćêÖÙøŠ
ĂöøĂ÷êŠ
ĂóĊ
-đĂĘ
î ×ĂÜĕéēĂéĂč
éöÙêĉ
[4-7] ÙČ
Ă
1
/
0
kT eV
eI I
1
ēé÷ìĊę
0
I
đðŨ
îÖøąĒÿÖøèĊ
ĕïĒĂÿÖúĆ
ï (reverse bias) ìĊę
×ċĚ
îÖĆ
ïĂč
èĀõĎ
öĉ
×ĂÜøĂ÷êŠ
ĂóĊ
-đĂĘ
î àċę
ÜĀćĕéš
ÝćÖ
kT E
p p
e e
G
e eN eNA I
/
0
v
v
2
đöČę
Ă
A
ÙČ
Ă óČĚ
îìĊę
Āîš
ćêĆ
é×ĂÜøĂ÷êŠ
ĂóĊ
-đĂĘ
î
e
N
Ēúą
p
N
ÙČ
Ă ÝĞ
ćîüî×ĂÜĂĉ
đúĘ
ÖêøĂîĒúąēĂú êćöúĞ
ćéĆ
ï
e
v
Ēúą
p
v
ÙČ
Ă
ÙüćöđøĘ
üúĂ÷đúČę
Ăî (drift velocity) ×ĂÜĂĉ
đúĘ
ÖêøĂîĒúąēăú êćöúĞ
ćéĆ
ï
e
ÙČ
Ă ðøąÝč
×ĂÜĂĉ
đúĘ
ÖêøĂî
k
ÙČ
Ă ÙŠ
ćÙÜìĊę
×ĂÜēïúìŤ
à
öĆ
îîŤ
T
ÙČ
Ă Ăč
èĀõĎ
öĉ
ÿĆ
öïĎ
øèŤ
Ēúą
V
ÙČ
Ă ýĆ
Ö÷Ť
ĕôôŜ
ćêÖÙøŠ
ĂöĕéēĂé
ÝćÖÿöÖćø 2 ÝąìĞ
ćĔĀš
đ×Ċ
÷îÿöÖćø 1 ĕéš
ĔĀöŠ
đðŨ
î
1
v
v
/
/
kT eV kT E
p p
e e
e
e eN eNA I
G
3
ĔîÖøèĊ
ìĊę
Ăč
èĀõĎ
öĉ
öĊ
ÖćøđðúĊę
÷îĒðúÜĕöŠ
öćÖîĆ
Ö đìĂö
p p
e e
eN eNA
v
v
ÝąöĊ
ÖćøđðúĊę
÷îĒðúÜîš
Ă÷öćÖė ÝîÙĉ
éĕéš
üŠ
ćöĊ
ÙŠ
ćÙÜìĊę
ÖĞ
ćĀîéĔĀš
đðŨ
î
B
ĒúąìĊę
Ăč
èĀõĎ
öĉ
ìéúĂÜÿĎ
ÜÖüŠ
ćýĎ
î÷Ť
ÿĆ
öïĎ
øèŤ
öćÖė đߊ
î ìĊę
3 đÙúüĉ
î ĒúąĔĀš
ýĆ
Ö÷Ť
ĕôôŜ
ćêÖÙøŠ
Ăö
øĂ÷êŠ
ĂóĊ
-đĂĘ
î đðŨ
î ēüúêŤ
óïüŠ
ćđìĂö
1 ) /
exp(
!!
kT eV
éĆ
ÜîĆĚ
î ÿöÖćø 3 đ×Ċ
÷îĕéš
ĔĀöŠ
đðŨ
î
kT E eV
G
Be I
/
4
ĀøČ
Ă
kT
E eV
B
I n
G
¸
¹
·
¨
©
§
A
ĔîÖćøìéúĂÜîĊĚ
ÖĞ
ćĀîéĔĀš
ÖøąĒÿ
I
ÙÜìĊę
ÝąìĞ
ćĔĀš
đìĂö
BIn
/
A
öĊ
ÙŠ
ćÙÜìĊę
ĒúąÖĞ
ćĀîéĔĀš
đðŨ
î
C
Ýąĕéš
kT
E eV C
G
G
E
Ck
V
Ck
e T
¸
¹
·
¨
©
§
¸
¹
·
¨
©
§
1
(6)
ĀøČ
Ă
b aV T
(7)
đöČę
Ă
Ck e a
/
Ēúą
Ck E b
G
/
öĊ
ĀîŠ
ü÷đðŨ
î
/
K V
Ēúą
K
êćöúĞ
ćéĆ
ï éš
ü÷đĀêč
îĊĚ
Ýąĕéš
e
a
b
E
G
¸
¹
·
¨
©
§
ÝćÖÿöÖćø óïüŠ
ć ëš
ćìøćïÙŠ
ć×ĂÜ
a
Ēúą
b
ÝćÖÖćøüĆ
éĂč
èĀõĎ
öĉ
ĒúąýĆ
Ö÷Ť
ĕôôŜ
ćêÖÙøŠ
ĂöĕéēĂé ÖĘ
ÝąÿćöćøëĀćÙŠ
ć×ĂÜ
Ēëïߊ
ĂÜüŠ
ćÜóúĆ
ÜÜćî
G
E
×ĂÜÿćøÖċę
ÜêĆ
üîĞ
ćĕéš
ÿĞ
ćĀøĆ
ïÙŠ
ćĒëïóúĆ
ÜÜćî
G
E
×ĂÜàĉ
úĉ
ÖĂîÿĆ
öóĆ
îíŤ
ÖĆ
ïĂč
èĀõĎ
öĉ
êćöÿöÖćø×ĂÜ
Varshni [8-10] éĆ
ÜîĊĚ
4 2
4.73 10
1.1695
636
G
T
E
eV
T
u
ĒúąöĊ
ÙüćöÿĆ
öóĆ
îíŤ
øąĀüŠ
ćÜÙŠ
ćĒëïߊ
ĂÜüŠ
ćÜóúĆ
ÜÜćî ĒúąĂč
èĀõĎ
öĉ
ĒÿéÜéĆ
ÜõćóìĊę
1
