2
คํ
านํ
า
ความก
าวหน
าในอุ
ตสาหกรรมการสื่
อสารแบบไร
สายได
รุ
ดหน
าไปอย
างรวดเร็
ว เพราะว
าลั
กษณะของตั
ว
กํ
าทอนไดอิ
เล็
กตริ
กทํ
างานได
ดี
ในช
วงความถี่
ไมโครเวฟ เป
นตั
วนํ
าไฟฟ
าที่
ดี
เมื่
อใช
สารที่
มี
จุ
ดหลอมเหลวต่ํ
า
สิ่
งประดิ
ษฐ
ด
านไมโครเวฟมี
ประสิ
ทธิ
ภาพสู
ง ขนาดกลั
บเล็
กลง มี
ค
าquality factor สู
ง และมี
ค
าสั
มประสิ
ทธิ์
อุ
ณหภู
มิ
ของความถี่
กํ
าทอนที่
เข
าใกล
ศู
นย
อย
างไรก็
ตาม อุ
ณหภู
มิ
การเผาอบผลึ
กของเซรามิ
กอิ
เล็
กตริ
กเป
นการใช
ที่
อุ
ณหภู
มิ
ทั่
ว ๆ ไป เพื่
อสร
างตั
วกํ
าทอนไมโครเวฟ หรื
อฟ
ลเตอร
(filters) ใช
ในช
วงอุ
ณหภู
มิ
1200 -1500
o
C เพราะฉะนั้
น ไม
เป
นการดี
สํ
าหรั
บตั
วนํ
าไฟฟ
าที่
มี
จุ
ดหลอมเหลวต่ํ
า เช
น เงิ
น(961
o
C) ทองแดง(1064
o
C) ป
จจุ
บั
น จึ
งได
มี
การศึ
กษา
พั
ฒนาวั
สดุ
อื่
นที่
มี
อุ
ณหภู
มิ
ไดอิ
เล็
กตริ
กต่ํ
า ๆ โดยการเปลี่
ยนแปลงลั
กษณะทางไฟฟ
าเพื่
อให
ตรงตามข
อกํ
าหนดที่
ต
องการสํ
าหรั
บการนํ
าไปใช
ZnO เป
นสารกึ่
งตั
วนํ
าที่
มี
ช
องว
างพลั
งงานที่
กว
าง(3.37 eV) และมี
ค
าพลั
งงานยึ
ดเหนี่
ยวมาก(~60 meV) นิ
ยม
นํ
ามาใช
เป
นวาริ
สเตอร
(varistor) ZnO เป
นส
วนของโครงสร
างผลึ
กแบบ wurtzite เป
นที่
ทราบกั
นเป
นอย
างดี
ว
าเป
น
วั
สดุ
แบบพิ
โซอิ
เล็
กตริ
ก แต
เมื่
อผสมกั
บ Mg กลั
บไม
เป
นผลึ
กแบบพิ
โซอิ
เล็
กตริ
ก และมี
โครงสร
างผลึ
กแบบลู
กบาศก
เช
นเดี
ยวกั
บ NaCl
ZnO-TiO
2
เป
นอั
ญรู
ปมี
เฟสไดอะแกรมเป
น Zn
2
TiO
4
(cubic) ZnTiO
3
(hexagonal) และ Zn
2
Ti
3
O
8
(cubic)
โดยการเปลี่
ยนแปลงจากอุ
ณหภู
มิ
ต่ํ
า 820
o
C จนถึ
งอุ
ณหภู
มิ
1100
o
C อย
างไรก็
ตาม เมื่
อเพิ่
มอุ
ณหภู
มิ
การเผาเป
น 900
o
C
วั
สดุ
มี
ค
าไดอิ
เล็
กตริ
กเป
น 19 ค
า Q เป
น 3000 ที่
ความถี่
10 GHz และค
าสั
มประสิ
ทธิ์
อุ
ณหภู
มิ
-55 ppm/
o
C Lee et
al.(2006) ได
ศึ
กษา Zn
0.95
Mg
0.05
TiO
2
+ 0.25TiO
2
เติ
มสารเจื
อ B
2
O
3
และBi
2
O
3
พบว
าเมื่
ออุ
ณหภู
มิ
เพิ่
มขึ้
นความ
หนาแน
นเพิ่
มขึ้
นด
วย เมื่
ออุ
ณหภู
มิ
ต่ํ
ากว
า 945
o
C มี
โครงสร
างเป
นแบบเฮกตระโกนอล เมื่
ออุ
ณหภู
มิ
สู
งกว
า945
o
C มี
โครงสร
างเป
นแบบลู
กบาศก
และมี
ค
าคงที่
ไดอิ
เล็
กตริ
กเป
น 25.7 ที่
อุ
ณหภู
มิ
ดั
งกล
าว Wang et al.(2005) ศึ
กษา Zn
1-
x
Mg
x
TiO
3
ช
วงอุ
ณหภู
มิ
950-1250
o
C ได
ค
าไดอิ
เล็
กตริ
กเป
น 17.8-17.3 Cha et al.(2005) นํ
า Ca และ Co เป
นสารเจื
อ
ร
วมใน Mg
0.6
Zn
0.4
TiO
3
เผาอบผลึ
กที่
อุ
ณหภู
มิ
1300
o
C มี
ค
าไดอิ
เล็
กตริ
กเป
น 24.58 มี
ค
าสั
มประสิ
ทธิ์
อุ
ณหภู
มิ
-0.6
ppm/
o
C ได
มี
การเตรี
ยมสารไดอิ
เล็
กตริ
ก (Zn,Mg)TiO3 เพื่
อให
ได
ค
าค
าคงที่
ไดอิ
เล็
กตริ
กสู
งและทํ
าให
สั
มประสิ
ทธิ์
อุ
ณหภู
มิ
ของความถี่
กํ
าทอน(temperature coefficient of resonant frequency)เข
าใกล
ศู
นย
Lee et al.ได
เตรี
ยม
(Zn,Mg)TiO
3
แบบหลายชั้
น(multilayer ceramic capacitors: MLCCs) พบว
า เมื่
อประยุ
กต
ใช
กั
บไฟฟ
ากระแสสลั
บ
การสู
ญเสี
ยความจุ
ไฟฟ
าน
อย แต
ใช
กั
บไฟฟ
ากระแสตรงพบว
ามี
กระไฟฟ
ารั่
ว(leakage) ที่
ความถี่
1 MHz
ในงานวิ
จั
ยนี้
เป
นการศึ
กษา (Zn
1-x
Mg
x
)TiO
3
โดย x= 0.0 0.1 0.2 0.3 เพื่
อศึ
กษาโครงสร
างจุ
ลภาค และหา
ค
าคงที่
ไดอิ
เล็
กตริ
ก
อุ
ปกรณ
และวิ
ธี
การ
ไดอิ
เล็
กตริ
กของเซรามิ
ก (Zn,Mg)TiO
3
เตรี
ยมโดยวิ
ธี
การผสมออกไซด
จาก ZnO(ความบริ
สุ
ทธิ์
ร
อยละ 99
ผลิ
ตโดยบริ
ษั
ท Scharlau chemi จํ
ากั
ด) MgO(ความบริ
สุ
ทธิ์
ร
อยละ 99 ผลิ
ตโดยบริ
ษั
ท Scharlau chemi จํ
ากั
ด) และ
TiO
2
(ความบริ
สุ
ทธิ์
ร
อยละ 99 ผลิ
ตโดยบริ
ษั
ท Scharlau chemi จํ
ากั
ด) ผสมโดยสั
ดส
วนโมลที่
มี
องค
ระกอบเป
น
(Zn
1-x
Mg
x
)TiO
3
เมื่
อ x = 0, 0.1, 0.2, และ 0.3 บดนาน 24 ชั่
วโมง เผาแคลไซน
(calcined) ที่
อุ
ณหภู
มิ
950
o
C แล
วนํ
ามา
บดอี
กครั้
งนาน 6 ชั่
วโมง เติ
ม PVA 5% นํ
าไปอั
ดเม็
ด แล
วเผาอบผลึ
กที่
อุ
ณหภู
มิ
1,250
o
C นาน 3 ชั่
วโมง ตรวจสอบ
การเปลี่
ยนเฟสด
วย XRD (Phillips, X’ Pert Pro MPD) ที่
ผลิ
ตรั
งสี
เอกซ
จาก Cu K
α
โดย 5
o
<2
θ
<90
o
ศึ
กษาโครงสร
าง