µ¦¦³»
¤ª·
µµ¦Â¨³Á°¨µª·
´
¥ ¤®µª·
¥µ¨´
¥´
¬·
¦´Ê
¸É
19 ¦³Î
µe
2552
4
¨µ¦ª·
´
¥Â¨³°£·
¦µ¥¨
æ¦o
µ¨¹
°¢d
¨r
¤µÅµÁ¸
¥¤Å°°År
Á¤ºÉ
°Á¨º
°¢d
¨r
¤µÅµÁ¸
¥¤Å°°År
o
ª¥ª·
¸
{
Á°¦·
£µ¥Äo
缃
°Å
µ¦Á¨º
°¸É
ª»
¤°¥n
µ
Á®¤µ³¤ º
° Î
µ¨´
Å¢¢j
µ¸É
Äo
ĵ¦{
Á°¦·
¼
Áª¨µ¸É
Äo
ĵ¦Á¨º
°µ ¨³¦³¥³®n
µ¦³®ªn
µÁj
µµ¦Á¨º
°
´
ª´
»
¦°¦´
Ĩo
³Î
µÄ®o
Á·
ªµ¤¦o
°¸É
ª´
»
¦°¦´
°»
®£¼
¤·
°ª´
»
¦°¦´
Á¡·É
¤
¹Ê
°¥n
µo
µÇ µ
°»
®£¼
¤·
®o
° ªµ¤¦o
°¸Ê
Á}
¨¤µµ¡¨µ¤µ (plasma heating effect) (Okimura
et al.,
1995) ¹É
¤¸
¨n
°¤´
·
°¢d
¨r
¤¸É
笼
°Åo
ĵª·
´
¥¸Ê
Åo
笼
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
Ã¥µ¦Â¦n
µ¦³¥³®n
µª´
»
¦°¦´
Ī
¦´
«¤¸
(d
x
) µ¦¼
¸É
2 Á¤ºÉ
° d
x
Án
µ´
0 cm ¨³ 2 cm ¡¦¼
µ¦Á¨¸Ê
¥ªÁ¦´
¸
Á°r
¸É
¤»
¤ 25.35
Ñ
¨³ 27.49
Ñ
¹É
¦´
ŵÁ¸
¥¤Å°°År
Á¢¤
°°µÁ/¦¼
Ũr
³¸É
Á¤ºÉ
° d
x
Án
µ´
4 cm ¡¦¼
µ¦Á¨¸Ê
¥ªÁ
¦´
¸
Á°r
¸É
¤»
¤ 25.35
Ñ
Á¡¸
¥¤»
¤Á¸
¥ª¦´
¢d
¨r
¤µÅµÁ¸
¥¤Å°°År
Á¢°µÁ¨³Á¤ºÉ
° d
x
Án
µ´
6 cm
¨³ 8 cm Ťn
¡¦¼
µ¦Á¨¸Ê
¥ªÁ¦´
¸
Á°r
ªn
µ¢d
¨r
¤¸É
笼
°Åo
¤¸
æ¦o
µ¨¹
填
µ °¨o
°
´
µª·
´
¥
° Okimura ¨³³ (1995) ¸É
¡ªn
µÁ¤ºÉ
° d
x
Á¡·É
¤
¹Ê
æ¦o
µ¨¹
°¢d
¨r
¤¸É
Åo
³Á¨¸É
¥µ
Á¢¤
°°µÁ/¦¼
Ũr
ÅÁ}
°µÁ ¨³ Ogawa ¨³³ (2008) ¡ªn
µÁ¤ºÉ
°¦³¥³ªµª´
»
¦°¦´
Á¡·É
¤
¹Ê
¢d
¨r
¤¸É
Åo
³Á¨¸É
¥µÁ¢¦¼
Ũr
¸É
¤¸
µÁ¦ÃÅÁ}
Á¢°µÁ¸É
¤¸
µÁ¦Á¨È
¨
¨´
¬³¡ºÊ
·
ªÂ¨³ªµ¤®µ
°¢d
¨r
¤µÅµÁ¸
¥¤Å°°År
¢d
¨r
¤µÅµÁ¸
¥¤Å°°År
¸É
笼
°o
ª¥ÁºÉ
°Å
°´
¦µn
ª Ar:O
2
¸É
1:6 sccm ¨³¦´
¦³¥³ªµ
ª´
»
¦°¦´
Ī¦´
«¤¸
µ»
¹É
¨µÂà (d
x
) ¦´Ê
¨³ 2 cm ¡ªn
µÁ¤ºÉ
°ªµª´
»
¦°¦´
Ĩo
»
¹É
¨µÂÃ
¢d
¨r
¤µÅµÁ¸
¥¤Å°°År
¸É
笼
°Åo
¤¸
µÁ¦Ã Á¤ºÉ
°Á¡·É
¤¦³¥³ d
x
µÁ¦
°¢d
¨r
¤¨¨µ 74.5 nm
Á}
48 nm n
ªªµ¤®¥µ·
ª¨¨µ 5.6 nm Á}
1.4 nm n
ªªµ¤®µ
°¢d
¨r
¤¨¨µ 154.2 nm Á}
113.8 nm (¦¼
¸É
3) °¨o
°´
µª·
´
¥
° Zhou ¨³³ (2006) ¹É
°·
杦n
µ¡¨´
µÄµ¦Á¨ºÉ
°¥o
µ¥°³°¤
®¦º
°Ã¤Á¨»
¨¤¸
¨n
°
µ
°Á¦ ¹É
®µ¡¨´
µ¤µ¢d
¨r
¤³n
°´
ªÅo
¸
¨³¤¸
µÁ¦Ã n
ª Okimura ¨³
³ (1995) ¦µ¥µªn
µ¡¨´
µ³¼
¦·
ÁªÄ¨o
´
·
ª®o
µÂÃĪ¦´
«¤¸
(d
x
) n
¨Ä®o
¡¨´
µÄµ¦Á¨ºÉ
°
¦³»
®¦º
°°³°¤Å¥´
·
ª®o
µª´
»
¦°¦´
¼
Á¦¹
¤¸
µÃ
³¸É
Ogawa ¨³³ (2008) ¦µ¥µªn
µÁ¤ºÉ
°¦³¥³
ªµª´
»
¦°¦´
Á¡·É
¤
¹Ê
ªµ¤®¥µ·
ªÂ¨³
µÁ¦
°¢d
¨r
¤³Á¨È
¨