เอกสารการประชุมวิชาการและเสนอผลงานวิจัย มหาวิทยาลัยทักษิณ ครั้งที่ 19 2552 - page 125

„µ¦ž¦³»
¤ª·
µ„µ¦Â¨³Áœ°Ÿ¨Šµœª·
‹´
¥ ¤®µª·
š¥µ¨´
¥š´
„¬·
– ‡¦´Ê
Šš¸É
19 ž¦³‹Î
µže
2552
4
Ÿ¨„µ¦ª·
‹´
¥Â¨³°£·
ž¦µ¥Ÿ¨
ǦŠ¦o
µŠŸ¨¹
„…°Š¢d
¨r
¤µŠÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
Á¤ºÉ
°Á‡¨º
°¢d
¨r
¤µŠÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
—o
ª¥ª·
›¸
ž{
˜Á˜°¦·
Š £µ¥Ä˜o
ÁŠºÉ
°œÅ…„µ¦Á‡¨º
°š¸É
‡ª‡»
¤°¥n
µŠ
Á®¤µ³¤ ‡º
° „Î
µ¨´
ŠÅ¢¢j
µš¸É
čo
Ĝ„µ¦ž{
˜Á˜°¦·
Š¼
Š Áª¨µš¸É
čo
Ĝ„µ¦Á‡¨º
°œµœ ¨³¦³¥³®n
µŠ¦³®ªn
µŠÁžj
µµ¦Á‡¨º
°
„´
ª´
—»
¦°Š¦´
Ä„¨o
‹³šÎ
µÄ®o
Á„·
—‡ªµ¤¦o
°œš¸É
ª´
—»
¦°Š¦´
‹œ°»
–®£¼
¤·
…°Šª´
—»
¦°Š¦´
Á¡·É
¤…¹Ê
œ°¥n
µŠo
µÇ ‹µ„
°»
–®£¼
¤·
®o
°Š ‡ªµ¤¦o
°œœ¸Ê
Áž}
œŸ¨¤µ‹µ„¡¨µ¤µ (plasma heating effect) (Okimura
et al.,
1995) Ž¹É
Š¤¸
Ÿ¨˜n
°¤´
˜·
…°Š¢d
¨r
¤š¸É
Á‡¨º
°Å—o
ĜŠµœª·
‹´
¥œ¸Ê
ŗo
Á‡¨º
°¢d
¨r
¤ÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
×¥„µ¦Âž¦‡n
µ¦³¥³®n
µŠª´
—»
¦°Š¦´
ÄœÂœª
¦´
«¤¸
(d
x
) ‹µ„¦¼
žš¸É
2 Á¤ºÉ
° d
x
Ášn
µ„´
 0 cm ¨³ 2 cm ¡¦¼
žÂ„µ¦Á¨¸Ê
¥ªÁœ¦´
Š¸
Á°„Žr
š¸É
¤»
¤ 25.35
Ñ
¨³ 27.49
Ñ
Ž¹É
Š˜¦Š„´
ÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
Á¢Ÿ¤…°Š°œµÁš/¦¼
Ś¨r
…–³š¸É
Á¤ºÉ
° d
x
Ášn
µ„´
 4 cm ¡¦¼
žÂ„µ¦Á¨¸Ê
¥ªÁœ
¦´
Š¸
Á°„Žr
š¸É
¤»
¤ 25.35
Ñ
Á¡¸
¥Š¤»
¤Á—¸
¥ª˜¦Š„´
¢d
¨r
¤µŠÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
Á¢°œµÁšÂ¨³Á¤ºÉ
° d
x
Ášn
µ„´
 6 cm
¨³ 8 cm Ťn
¡¦¼
žÂ„µ¦Á¨¸Ê
¥ªÁœ¦´
Š¸
Á°„Žr
—Šªn
µ¢d
¨r
¤š¸É
Á‡¨º
°Å—o
¤¸
ǦŠ¦o
µŠŸ¨¹
„°´
–“µœ °—‡¨o
°Š
„´
Šµœª·
‹´
¥…°Š Okimura ¨³‡–³ (1995) š¸É
¡ªn
µÁ¤ºÉ
° d
x
Á¡·É
¤…¹Ê
œÃ‡¦Š¦o
µŠŸ¨¹
„…°Š¢d
¨r
¤š¸É
ŗo
‹³Áž¨¸É
¥œ‹µ„
Á¢Ÿ¤…°Š°œµÁš/¦¼
Ś¨r
ŞÁž}
œ°œµÁš ¨³ Ogawa ¨³‡–³ (2008) ¡ªn
µÁ¤ºÉ
°¦³¥³ªµŠª´
—»
¦°Š¦´
Á¡·É
¤…¹Ê
œ
¢d
¨r
¤š¸É
ŗo
‹³Áž¨¸É
¥œ‹µ„Á¢¦¼
Ś¨r
š¸É
¤¸
…œµ—Á„¦œÃ˜ÅžÁž}
œÁ¢°œµÁšš¸É
¤¸
…œµ—Á„¦œÁ¨È
„¨Š
¨´
„¬–³¡ºÊ
œŸ·
ªÂ¨³‡ªµ¤®œµ…°Š¢d
¨r
¤µŠÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
¢d
¨r
¤µŠÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
š¸É
Á‡¨º
°—o
ª¥ÁŠºÉ
°œÅ…°´
˜¦µn
ªœ Ar:O
2
‡Šš¸É
1:6 sccm ¨³ž¦´
¦³¥³ªµŠ
ª´
—»
¦°Š¦´
ÄœÂœª¦´
«¤¸
‹µ„‹»
—„¹É
Š„¨µŠÂ‡Ãš— (d
x
) ‡¦´Ê
Š¨³ 2 cm ¡ªn
µÁ¤ºÉ
°ªµŠª´
—»
¦°Š¦´
Ä„¨o
‹»
—„¹É
Š„¨µŠÂ‡Ãš—
¢d
¨r
¤µŠÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
š¸É
Á‡¨º
°Å—o
¤¸
…œµ—Á„¦œÃ˜ Á¤ºÉ
°Á¡·É
¤¦³¥³ d
x
…œµ—Á„¦œ…°Š¢d
¨r
¤¨—¨Š‹µ„ 74.5 nm
Áž}
œ 48 nm n
ªœ‡ªµ¤®¥µŸ·
ª¨—¨Š‹µ„ 5.6 nm Áž}
œ 1.4 nm n
ªœ‡ªµ¤®œµ…°Š¢d
¨r
¤¨—¨Š‹µ„ 154.2 nm Áž}
œ
113.8 nm (¦¼
žš¸É
3) °—‡¨o
°Š„´
Šµœª·
‹´
¥…°Š Zhou ¨³‡–³ (2006) Ž¹É
Š°›·
µ¥ªn
µ¡¨´
ŠŠµœÄœ„µ¦Á‡¨ºÉ
°œ¥o
µ¥°³˜°¤
®¦º
°Ã¤Á¨„»
¨¤¸
Ÿ¨˜n
°…œµ—…°ŠÁ„¦œ Ž¹É
Š®µ„¡¨´
ŠŠµœ¤µ„¢d
¨r
¤‹³„n
°˜´
ªÅ—o
—¸
¨³¤¸
…œµ—Á„¦œÃ˜ n
ªœ Okimura ¨³
‡–³ (1995) ¦µ¥Šµœªn
µ¡¨´
ŠŠµœ‹³¼
Š¦·
Áª–Ä„¨o
„´
Ÿ·
ª®œo
µÂ‡Ãš—Ĝœª¦´
«¤¸
(d
x
) n
ŠŸ¨Ä®o
¡¨´
ŠŠµœÄœ„µ¦Á‡¨ºÉ
°œ
ž¦³‹»
®¦º
°°³˜°¤Åž¥´
ŠŸ·
ª®œo
µª´
—»
¦°Š¦´
¼
ŠÁ„¦œ‹¹
Š¤¸
…œµ—Ø…–³š¸É
Ogawa ¨³‡–³ (2008) ¦µ¥Šµœªn
µÁ¤ºÉ
°¦³¥³
ªµŠª´
—»
¦°Š¦´
Á¡·É
¤…¹Ê
œ‡ªµ¤®¥µŸ·
ªÂ¨³…œµ—Á„¦œ…°Š¢d
¨r
¤‹³Á¨È
„¨Š
1...,115,116,117,118,119,120,121,122,123,124 126,127,128,129,130,131,132,133,134,135,...1457
Powered by FlippingBook