เอกสารการประชุมวิชาการและเสนอผลงานวิจัย มหาวิทยาลัยทักษิณ ครั้งที่ 19 2552 - page 116

„µ¦ž¦³»¤ª·µ„µ¦Â¨³Áœ°Ÿ¨Šµœª·‹´¥ ¤®µª·š¥µ¨´¥š´„¬·– ‡¦´ÊŠš¸É 19 ž¦³‹Îµže 2552
5
(a) (b) (c)
¦¼žš¸É 2 ¨´„¬–³ °Š¡¨µ¤µÂ¨³„µ¦ªµŠ·ÊœŠµœÄœ„¦³ªœ„µ¦Á‡¨º°š¸É¦³¥³ d s-t ˜nµŠÇ
(a) ¦³¥³ ds-t = 10 cm (b) ¦³¥³ d s-t = 13 cm (c) ¦³¥³ ds-t = 16 cm
¦¼žš¸É 3 ¨´„¬–³ jµš¸ÉÁ„·—œŸ·ª®œoµ °Š„¦³‹„ Á¤ºÉ°Á‡¨º°—oª¥¦³¥³ ds-t œo°¥Ç
˜µ¦µŠš¸É 1 ÁŠºÉ°œÅ š¸ÉÁ®¤µ³¤Îµ®¦´Á‡¨º°¢d¨r¤
Base pressure (Pb) 5x10-5 mbar
Working pressure (Pw) 5x10-3 mbar
Voltage 420 V
Current 500 mA
ds-t 16 cm
Coat rate 0.13 nm/sec
¦·Áª–š¸ÉÁ„· — jµÁœºÉ °Š‹µ„„µ¦®¨»—¨°„ °Š¢d¨r¤Ã‡¦Á¤¸ ¥¤
Á¤ºÉ°š·ÊŠ„¦³‹„ŪoĜ¦¦¥µ„µ«®¨´Š„µ¦Á‡¨º °
‹³Á®Èœªnµ„¦³³šo°œÂŠÅ¤n—¸ ¤¸¨´ „¬–³Áž}œ‹»— µª
¨´„¬–³¢d¨r¤Ã‡¦Á¤¸¥¤š¸É˜·—œŸ·ª®œoµ„¦³‹„
š¸ÉŤnÁ„· —ž{®µ„µ¦®¨» —¨°„
‹³Á®ÈœªnµÅ¤nÁ„· — jµ ¤¸„µ¦³šo°œÂŠ—¸
¨´„¬–³ °Š„¦³‹„ÁŠµÃ‡¦Á¤¸¥¤š¸ÉÁ‡¨º°Å—o