เอกสารการประชุมวิชาการและเสนอผลงานวิจัย มหาวิทยาลัยทักษิณ ครั้งที่ 19 2552 - page 114

„µ¦ž¦³»
¤ª·
µ„µ¦Â¨³Áœ°Ÿ¨Šµœª·
‹´
¥ ¤®µª·
š¥µ¨´
¥š´
„¬·
– ‡¦´Ê
Šš¸É
19 ž¦³‹Î
µže
2552
3
‹µ„¦µ¥¨³Á°¸
¥——´
Š…o
µŠ˜o
œ šÎ
µÄ®o
¦·
¬´
š œµÃœ ¤·
Á¦°¦r
°·
œ—´
š¦¸Ê
‹Î
µ„´
— Ÿ¼o
Ÿ¨·
˜„¦³‹„ÁŠµÎ
µ®¦´
¥µœ¥œ˜r
¨³ ®o
°Šž’·
´
˜·
„µ¦ª·
‹´
¥Áš‡ÃœÃ¨¥¸
»
µ„µ«Â¨³¢d
¨r
¤µŠ £µ‡ª·
µ¢d
·
„r
‡–³ª·
š¥µ«µ˜¦r
¤®µª·
š¥µ¨´
¥¼
¦¡µ
¤¸
‡ªµ¤œÄ‹¦n
ª¤„´
œÄœ„µ¦¡´
•œµ„¦³‹„ÁŠµš¸É
¤¸
‡»
–£µ¡¼
Š„ªn
µÂÁ—·
¤ ץčo
ǦÁ¤¸
¥¤Áž}
œµ¦Á‡¨º
°Âšœ
°³¨¼
¤·
Áœ¸
¥¤ ¨³Áž¨¸É
¥œÁš‡œ·
‡„µ¦Á‡¨º
°‹µ„Áš‡œ·
‡¦³Á®¥µ¦¤µÁž}
œÁš‡œ·
‡ž{
˜Á˜°¦·
Š š‡ªµ¤ª·
‹´
¥œ¸Ê
Áž}
œ¦µ¥Šµœ
Ÿ¨„µ¦ª·
‹´
¥Â¨³¡´
•œµ„¦³‹„ÁŠµÃ‡¦Á¤¸
¥¤Ž¹É
ŠÁ‡¨º
°—o
ª¥Áš‡œ·
‡ž{
˜Á˜°¦·
ŠÎ
µ®¦´
°»
˜µ®„¦¦¤¥µœ¥œ˜r
˜´Ê
ŠÂ˜n
„µ¦Á‡¨º
°Ã‡¦Á¤¸
¥¤œ„¦³‹„—o
ª¥Áš‡œ·
‡ž{
˜Á˜°¦·
Š „µ¦«¹
„¬µ¤´
˜·
šµŠÂŠ…°Š¢d
¨r
¤Ã‡¦Á¤¸
¥¤ ¨³Äœ˜°œšo
µ¥
ŗo
š—¨°ŠÁ‡¨º
°„¦³‹„ÁŠµÃ‡¦Á¤¸
¥¤Î
µ®¦´
¥µœ¥œ˜r
Á¡ºÉ
°š—° „µ¦¥¹
—˜·
— „µ¦šœœÊÎ
µÂ¨³‡ªµ¤¦o
°œ˜µ¤¤µ˜¦“µœ
…°ŠÃ¦ŠŠµœŸ¨·
˜„¦³‹„ÁŠµÎ
µ®¦´
¥µœ¥œ˜r
Á¡ºÉ
°Áž}
œ…o
°¤¼
¨¡ºÊ
œ“µœÎ
µ®¦´
„µ¦ž¦³¥»
„˜r
Ĝ°»
˜µ®„¦¦¤˜n
°Åž
°»
ž„¦–r
¨³ª·
›¸
„µ¦
¢d
¨r
¤Ã‡¦Á¤¸
¥¤Äœ„µ¦«¹
„¬µœ¸Ê
Á˜¦¸
¥¤…¹Ê
œ‹µ„Á‡¦ºÉ
°ŠÁ‡¨º
°Äœ»
µ„µ« —o
ª¥Áš‡œ·
‡ ž{
˜Á˜°¦·
Š (¦¼
žš¸É
1)
Ž¹É
Š¤¸
®o
°ŠÁ‡¨º
°š¦Š„¦³°„ …œµ—Áo
œŸn
µœ«¼
ϴr
„¨µŠ 310.0 mm ¼
Š 370.0 mm ˜·
—Ážj
µÃ‡¦Á¤¸
¥¤ (99.97%)
Áo
œŸn
殬
ϴr
„¨µŠ 54.0 mm
š¸É
‡µÃš—¡¦o
°¤£µ‡‹n
µ¥Å¢¢j
µÂ¦Š¼
Š„¦³Â˜¦Š čo
„p
°µ¦r
„°œ‡ªµ¤¦·
»
š›·Í
¼
Š
(99.999%) Áž}
œÂ„p
ž{
˜Á˜°¦r
¦³Á‡¦ºÉ
°Š¼
»
µ„µ«ž¦³„°—o
ª¥Á‡¦ºÉ
°Š¼
ÂÂ¡¦n
Å°¤¸
Á‡¦ºÉ
°Š¼
„¨Ã¦˜µ¦¸
Áž}
œÁ‡¦ºÉ
°Š¼
šo
µ¥ ª´
—‡ªµ¤—´
œ—o
ª¥¤µ˜¦ª´
—‡ªµ¤—´
œ…°Š balzers ¦»n
œ TPG300 ¡¦o
°¤®´
ªª´
—¡·
¦µœ¸
¦»n
œ TPR010
¨³®´
ªª´
—Á¡œœ·É
Š¦»n
œ IKR050 ‹n
µ¥Â„p
Î
µ®¦´
Á‡¨º
°—o
ª¥»
—‡ª‡»
¤„µ¦Å®¨¤ª¨ (mass flow controller)…°Š
MKS type247D „n
°œÁ‡¨º
°š»
„‡¦´Ê
Š‹³šÎ
µ‡ªµ¤³°µ—®œo
µÁžj
µµ¦Á‡¨º
° ×¥„µ¦ž{
˜Á˜°¦r
®œo
µÁžj
µµ¦Á‡¨º
°
(pre-sputtering) ž¦³¤µ– 5 œµš¸
×¥žd
—Ÿn
œ´
Š (shutter) š¸É
˜·
—¦³®ªn
µŠÁžj
µµ¦Á‡¨º
°„´
Âšn
œªµŠ·Ê
œŠµœ
„µ¦Á‡¨º
°Á¦·É
¤‹µ„œÎ
µ·Ê
œŠµœš¸É
šÎ
µ‡ªµ¤³°µ—¨o
ªÁ…o
µ®o
°ŠÁ‡¨º
° ×¥ªµŠœÂšn
œªµŠ·Ê
œŠµœŽ¹É
Šž¦´

¦³¥³®n
µŠ‹µ„®œo
µÁžj
µµ¦Á‡¨º
° (d
s-t
) ŗo
‹µ„œ´Ê
œ¨—‡ªµ¤—´
πϨo
°ŠÁ‡¨º
°‹œÅ—o
‡ªµ¤—´
œ¡ºÊ
œ (base pressure ; P
b
)
Ášn
µ„´
 5.0x10
-5
mbar ¨o
ªž¨n
°¥Â„p
°µ¦r
„°œÁ…o
µ®o
°ŠÁ‡¨º
°Ä®o
‡ªµ¤—´
πϨo
°ŠÁ‡¨º
°Ášn
µ„´
 5.0x10
-3
mbar
„Î
µ®œ—Ä®o
Áž}
œ‡ªµ¤—´
œ…–³Á‡¨º
° (working pressure ; P
w
) ‹n
µ¥Å¢¢j
µ„¦³Â˜¦ŠÄ®o
‡µÃš—Á¡ºÉ
°Á¦·É
¤Á‡¨º
° ¨³‹´

Áª¨µÁ‡¨º
°Á¤ºÉ
°Ážd
—Ÿn
œ´
Š ‹œ‡¦Áª¨µš¸É
„Î
µ®œ—žd
—„µ¦‹n
µ¥Å¢¢j
µ ¨o
ª‹¹
ŠœÎ
µ°°„¤µª·
Á‡¦µ³®r
˜n
°Åž
¢d
¨r
¤Ã‡¦Á¤¸
¥¤š¸É
Á‡¨º
°Å—o
š´Ê
Š®¤—‹³œÎ
µÅ—o
ޘ¦ª‹°Ã‡¦Š¦o
µŠŸ¨¹
„—o
ª¥Á‡¦ºÉ
°ŠÁ¨¸Ê
¥ªÁœ¦´
Š¸
Á°„Žr
(X-ray Diffractometer; XRD)…°Š Rigaku ¦»n
œ Rint 2000 čo
Cu-K
D
(
O
= 1.54056 Å) ˜¦ª‹ª´
— 2
T
-scan —o
ª¥
¤»
¤˜„„¦³šÁŒ¸
¥Š (glazing incident angle) ‡Šš¸É
Ášn
µ„´
 3
O
¨³„¦µ——o
ª¥¤»
¤ 2
T
‹µ„ 20
O
- 65
O
—o
ª¥°´
˜¦µ 2
O
˜n
°œµš¸
‡n
µ„µ¦³šo
°œÂŠÂ¨³‡n
µ„µ¦n
ŠŸn
µœÂŠª´
——o
ª¥Á‡¦ºÉ
°ŠÁž‡Ã˜¦Ã¢Ã˜¤·
Á˜°¦r
¨´
„¬–³¡ºÊ
œŸ·
ªÂ¨³‡ªµ¤®œµ¢d
¨r
¤
˜¦ª‹ª´
——o
ª¥Á‡¦ºÉ
°Š°³˜°¤¤·
‡¢°¦r
ŽÅ¤Ã‡¦ Ǟ (Atomic Force Microscope; AFM) …°Š Veeco Instrument Inc.
¦»n
œ Nano Scope IV »
—šo
µ¥Áž}
œ„µ¦š—¨°ŠÁ‡¨º
°„¦³‹„ÁŠµÃ‡¦Á¤¸
¥¤Â¨o
ªœÎ
µÅžš—°„µ¦³šo
°œÂŠ „µ¦¥¹
—˜·
—
„µ¦šœœÊÎ
µÂ¨³‡ªµ¤¦o
°œ˜µ¤¤µ˜¦“µœ…°ŠÃ¦ŠŠµœš¸É
¦n
ª¤ª·
‹´
¥
1...,104,105,106,107,108,109,110,111,112,113 115,116,117,118,119,120,121,122,123,124,...1457
Powered by FlippingBook