µ¦¦³»
¤ª·
µµ¦Â¨³Á°¨µª·
´
¥ ¤®µª·
¥µ¨´
¥´
¬·
¦´Ê
¸É
19 ¦³Î
µe
2552
3
µ¦µ¥¨³Á°¸
¥´
o
µo
Î
µÄ®o
¦·
¬´
µÃ ¤·
Á¦°¦r
°·
´
¦¸Ê
Î
µ´
¼o
¨·
¦³ÁµÎ
µ®¦´
¥µ¥r
¨³ ®o
°·
´
·
µ¦ª·
´
¥ÁÃ襸
»
µµ«Â¨³¢d
¨r
¤µ £µª·
µ¢d
·
r
³ª·
¥µ«µ¦r
¤®µª·
¥µ¨´
¥¼
¦¡µ
¤¸
ªµ¤Ä¦n
ª¤´
ĵ¦¡´
µ¦³Áµ¸É
¤¸
»
£µ¡¼
ªn
µÂÁ·
¤ Ã¥Äo
æÁ¤¸
¥¤Á}
µ¦Á¨º
°Â
°³¨¼
¤·
Á¸
¥¤ ¨³Á¨¸É
¥Á·
µ¦Á¨º
°µÁ·
¦³Á®¥µ¦¤µÁ}
Á·
{
Á°¦·
ªµ¤ª·
´
¥¸Ê
Á}
¦µ¥µ
¨µ¦ª·
´
¥Â¨³¡´
µ¦³ÁµÃ¦Á¤¸
¥¤¹É
笼
°o
ª¥Á·
{
Á°¦·
Î
µ®¦´
°»
µ®¦¦¤¥µ¥r
´Ê
Ân
µ¦Á¨º
°Ã¦Á¤¸
¥¤¦³o
ª¥Á·
{
Á°¦·
µ¦«¹
¬µ¤´
·
µÂ
°¢d
¨r
¤Ã¦Á¤¸
¥¤ ¨³Ä°o
µ¥
Åo
¨°Á¨º
°¦³ÁµÃ¦Á¤¸
¥¤Î
µ®¦´
¥µ¥r
Á¡ºÉ
°° µ¦¥¹
·
µ¦ÊÎ
µÂ¨³ªµ¤¦o
°µ¤¤µ¦µ
°Ã¦µ¨·
¦³ÁµÎ
µ®¦´
¥µ¥r
Á¡ºÉ
°Á}
o
°¤¼
¨¡ºÊ
µÎ
µ®¦´
µ¦¦³¥»
r
Ä°»
µ®¦¦¤n
°Å
°»
¦r
¨³ª·
¸
µ¦
¢d
¨r
¤Ã¦Á¤¸
¥¤Äµ¦«¹
¬µ¸Ê
Á¦¸
¥¤
¹Ê
µÁ¦ºÉ
°Á¨º
°Ä»
µµ« o
ª¥Á·
{
Á°¦·
(¦¼
¸É
1)
¹É
¤¸
®o
°Á¨º
°¦¦³°
µÁo
n
殬
¥r
¨µ 310.0 mm ¼
370.0 mm ·
Áj
µÃ¦Á¤¸
¥¤ (99.97%)
Áo
n
殬
¥r
¨µ 54.0 mm
¸É
µÃ¡¦o
°¤£µn
µ¥Å¢¢j
µÂ¦¼
¦³Â¦ Äo
Âp
°µ¦r
°ªµ¤¦·
»
·Í
¼
(99.999%) Á}
Âp
{
Á°¦r
¦³Á¦ºÉ
°¼
»
µµ«¦³°o
ª¥Á¦ºÉ
°¼
¡¦n
Å°¤¸
Á¦ºÉ
°¼
¨Ã¦µ¦¸
Á}
Á¦ºÉ
°¼
o
µ¥ ª´
ªµ¤´
o
ª¥¤µ¦ª´
ªµ¤´
° balzers ¦»n
TPG300 ¡¦o
°¤®´
ªª´
¡·
¦µ¸
¦»n
TPR010
¨³®´
ªª´
Á¡·É
¦»n
IKR050 n
µ¥Âp
Î
µ®¦´
笼
°o
ª¥»
ª»
¤µ¦Å®¨¤ª¨ (mass flow controller)
°
MKS type247D n
°Á¨º
°»
¦´Ê
³Î
µªµ¤³°µ®o
µÁj
µµ¦Á¨º
° Ã¥µ¦{
Á°¦r
®o
µÁj
µµ¦Á¨º
°
(pre-sputtering) ¦³¤µ 5 µ¸
Ã¥d
Ân
´
(shutter) ¸É
·
¦³®ªn
µÁj
µµ¦Á¨º
°´
Ân
ªµ·Ê
µ
µ¦Á¨º
°Á¦·É
¤µÎ
µ·Ê
µ¸É
Î
µªµ¤³°µÂ¨o
ªÁ
o
µ®o
°Á¨º
° Ã¥ªµÂn
ªµ·Ê
µ¹É
¦´
¦³¥³®n
µµ®o
µÁj
µµ¦Á¨º
° (d
s-t
) Åo
µ´Ê
¨ªµ¤´
Įo
°Á¨º
°Åo
ªµ¤´
¡ºÊ
(base pressure ; P
b
)
Án
µ´
5.0x10
-5
mbar ¨o
ª¨n
°¥Âp
°µ¦r
°Á
o
µ®o
°Á¨º
°Ä®o
ªµ¤´
Įo
°Á¨º
°Án
µ´
5.0x10
-3
mbar
Î
µ®Ä®o
Á}
ªµ¤´
³Á¨º
° (working pressure ; P
w
) n
µ¥Å¢¢j
µ¦³Â¦Ä®o
µÃÁ¡ºÉ
°Á¦·É
¤Á¨º
° ¨³´
Áª¨µÁ¨º
°Á¤ºÉ
°Ád
Ân
´
¦Áª¨µ¸É
Î
µ®d
µ¦n
µ¥Å¢¢j
µ ¨o
ª¹
Î
µ°°¤µª·
Á¦µ³®r
n
°Å
¢d
¨r
¤Ã¦Á¤¸
¥¤¸É
笼
°Åo
´Ê
®¤³Î
µÅo
Ŧª°Ã¦¦o
µ¨¹
o
ª¥Á¦ºÉ
°Á¨¸Ê
¥ªÁ¦´
¸
Á°r
(X-ray Diffractometer; XRD)
° Rigaku ¦»n
Rint 2000 Äo
Cu-K
D
(
O
= 1.54056 Å) ¦ªª´
 2
T
-scan o
ª¥
¤»
¤¦³Á¸
¥ (glazing incident angle) ¸É
Án
µ´
3
O
¨³¦µo
ª¥¤»
¤ 2
T
µ 20
O
- 65
O
o
ª¥°´
¦µ 2
O
n
°µ¸
n
µµ¦³o
°Â¨³n
µµ¦n
n
µÂª´
o
ª¥Á¦ºÉ
°Áæâä·
Á°¦r
¨´
¬³¡ºÊ
·
ªÂ¨³ªµ¤®µ¢d
¨r
¤
¦ªª´
o
ª¥Á¦ºÉ
°°³°¤¤·
¢°¦r
Ťæ à (Atomic Force Microscope; AFM)
° Veeco Instrument Inc.
¦»n
Nano Scope IV »
o
µ¥Á}
µ¦¨°Á¨º
°¦³ÁµÃ¦Á¤¸
¥¤Â¨o
ªÎ
µÅ°µ¦³o
°Â µ¦¥¹
·
µ¦ÊÎ
µÂ¨³ªµ¤¦o
°µ¤¤µ¦µ
°Ã¦µ¸É
¦n
ª¤ª·
´
¥