เอกสารการประชุมวิชาการและเสนอผลงานวิจัย มหาวิทยาลัยทักษิณ ครั้งที่ 19 2552 - page 124

„µ¦ž¦³»¤ª·µ„µ¦Â¨³Áœ°Ÿ¨Šµœª·‹´¥ ¤®µª·š¥µ¨´¥š´„¬·– ‡¦´ÊŠš¸É 19 ž¦³‹Îµže 2552
3
×¥¢d¨r¤Â˜n¨³» —‹³ÄoÁª¨µÁ‡¨º°Ášnµ„´ 180 œµš¸ ¢d ¨r¤š¸ÉÁ‡¨º°Å—oš´ÊŠ®¤—‹³œÎµÅ—oޘ¦ª‹°Ã‡¦Š¦oµŠŸ¨¹„
—oª¥Áš‡œ·‡„µ¦Á¨¸Ê ¥ªÁœ¦´Š¸Á°„Žr (X-ray Diffractometer ; XRD °Š Rigaku ¦»nœ Rint 2000) čo Cu-KD
(O = 1.54056 Å) ˜¦ª‹ª´— 2T-scan —oª¥¤»¤˜„„¦³šÁŒ¸¥Š (glazing incident angle) Ášnµ„´ 3 O ¨´„¬–³¡ºÊœŸ·ª
¨³‡ªµ¤®œµ¢d¨r¤˜¦ª‹ª´——o ª¥Á‡¦ºÉ°Š°³˜°¤¤·‡¢°¦rŽÅ¤Ã‡¦Ã‡ž (Atomic Force Microscope ; AFM °Š Veeco
Instrument Inc.¦»nœ Nano Scope IV)
¦¼žš¸É 1 nªœž¦³„° °ŠÁ‡¦ºÉ°ŠÁ‡¨º °Â°´¨µ¨µœŽr ¤„œ¸˜¦°œ ž{˜Á˜°¦·ŠÂ 2 ‡Ú—
˜µ¦µŠš¸É 1 ÁŠºÉ°œÅ „µ¦Á‡¨º°¢d ¨r¤µŠÅššµÁœ¸¥¤Å—°°„ÅŽ—r
˜´ªÂž¦ ÁŠºÉ°œÅ „µ¦Á‡¨º°
Ážjµµ¦Á‡¨º° (Target) ŚšµÁœ¸¥¤¦· »š›·Í 99.97%
ª´ —»¦°Š¦´ (Substrate) ŸnœŽ·¨·„°œ(100)
¦³¥³®nµŠ¦³ªnµŠÁžjµµ¦Á‡¨º °„´ÂšnœªµŠª´ —»¦°Š¦´ (ds-t ) 12 cm
¦³¥³ªµŠÂŸnœŽ·¨·„°œÄœÂœª¦´«¤¸ ‹µ„Âœª„¨µŠ®´ªÂ‡Ãš— (dx) 0, 2, 4, 6, 8 cm
‡ªµ¤—´œ¡ºÊœ (Base pressure) 5x10 -5 mbar
‡ªµ¤—´œ¦ª¤ –³Á‡¨º° (Total pressure) 5x10 -3 mbar
„ε¨´ŠÅ¢¢jµ (Power) 210 W
°´˜¦µÅ®¨Â„p °µ¦r„°œ (Oxygen flow rate) 1 sccm
°´˜¦µÅ®¨Â„p °°„Ž·Á‹œ (Argon flow rate) 6 sccm
Áª¨µÄœ„µ¦Á‡¨º° (Time) 180 œµš¸