µ¦¦³»
¤ª·
µµ¦Â¨³Á°¨µª·
´
¥ ¤®µª·
¥µ¨´
¥´
¬·
¦´Ê
¸É
19 ¦³Î
µe
2552
2
Î
µÎ
µ
¢d
¨r
¤µÅµÁ¸
¥¤Å°°År
Åo
¦´
ªµ¤Ä«¹
¬µ°¥n
µªo
µ
ªµÄn
ª¸É
n
µ¤µÁºÉ
°µ¤¸
¤´
·
¸É
n
µÄ®¨µ¥¦³µ¦ Án
¤´
·
µ¦n
n
µÂ¸
¤¸
n
µ´
¸
®´
Á®¼
(Toshihiro
et al.
, 2001) ¤¸
Á¸
¥¦£µ¡µÁ¤¸
(Satashi
et al.
, 2001) ŵÁ¸
¥¤Å°°År
¥´
µ¤µ¦Î
µÅÁ¨º
°Á¡ºÉ
°j
°´
·
ª®o
µ
°°»
¦r
µÂÅo
缃
°µÁ}
¢d
¨r
¤Ä¤¸
ªµ¤Â
È
¼
n
°µ¦
¼
¸
¨³¢d
¨r
¤Ä¨³¤¸
¤´
·
Î
µªµ¤³°µ´
ªÁ°Åo
(Yamagishi
et al.
, 2003) °µ¸Ê
µ¦¦³°ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
¥´
¤´
·
°ºÉ
Ç °¸
®¨µ®¨µ¥¦¼
Â
·
Ħ¦¤µ·
³¡ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
Ä 3 Á¢º
° °µÁ (anatase) ¦¼
Ũr
(rutile) ¦¼
År
(brookite) ¹É
Ã¥·
³Å¤n
¡Á¢¦¼
År
³¡Á¡¸
¥°´
µ °µÁ¨³¦¼
Ũr
Án
µ´Ê
(Lobl
et al.
, 1994)
Á¢°µÁ (a = 0.3785 nm, c = 0.9514 nm) ¨³¦¼
Ũr
(a =0.4594 nm, c = 0.2958 nm) ¤¸
æ¦o
µ¨¹
Â
Á¦³Ã°¨ (tetragonal) n
ªÁ¢¦¼
År
(a = 0.918 nm, b = 0.5447 nm, c = 0.5145 nm) ¤¸
æ¦o
µ¨¹
Â
°°¦r
æ°¤·
(orthorhombic) (Brady
et al.
, 1991) Á¢°µÁ ³¤¸
n
µ´
¸
µ¦®´
Á®¦³¤µ 2.5 ¤¸
Á¸
¥¦£µ¡
¤µ³¡Á¤ºÉ
°Á¦¸
¥¤¢d
¨r
¤¸É
°»
®£¼
¤·
ÉÎ
µªn
µ 800
Ñ
o
µ°»
®£¼
¤·
ĵ¦Á¦¸
¥¤¢d
¨r
¤¤µªn
µ 800
Ñ
³Á¨¸É
¥Á}
Á¢¦¼
Ũr
¹É
¤¸
n
µÅ°·
Á¨È
¦·
r
¨³´
¸
®´
Á®¼
ªn
µÁ¢°µÁ (n = 2.7) (Palik
et al.
, 1991)
¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
µ¤µ¦Á¦¸
¥¤Åo
µ®¨µ¥ª·
¸
´Ê
¸Ê
Á¤ºÉ
°Á¦¸
¥Á¸
¥ª·
¸
Á¦¸
¥¤¢d
¨r
¤Ân
µÇ
¡ªn
µµ¦Á¦¸
¥¤o
ª¥ª¸
¸
¦¸
°¸
¢ {
Á°¦·
¤¸
ªµ¤Î
µ´
¤µÁ¡¦µ³µ¤µ¦ª»
¤´
n
ª
°°r
¦³°¢d
¨r
¤
Åo
n
µ¥Ã¥µ¦ª»
¤ÁºÉ
°Å
´
ªÂ¦n
µÇ æ¦o
µÂ¨³¤´
·
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
¸É
Á¦¸
¥¤o
ª¥
¸
¸
¤¸
¦° {
Á°¦·
´Ê
µ¤µ¦¦´
¦»
o
ª¥µ¦ª»
¤ÁºÉ
°Å
ĵ¦Á¨º
° Án
ªµ¤´
¡ºÊ
ªµ¤´
¦ª¤
³Á¨º
° ªµ¤´
¥n
°¥Âp
°°·
Á Î
µ¨´
Å¢¢j
µ
°Áj
µµ¦Á¨º
° ¦³¥³®n
µ¦³®ªn
µÁj
µµ¦Á¨º
°¹
ª´
»
¦°¦´
Î
µÄ®o
µ¦«¹
µ{
´
¥®¦º
°ÁºÉ
°Å
µ¦Á¨º
°¸É
¤¸
¨n
°Ã¦¦o
µÂ¨³¤´
·
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤
Å°°År
¥´
Åo
¦´
ªµ¤Ä°¥n
µn
°ÁºÉ
° ªµ¤ª·
´
¥¸Ê
Á}
¦µ¥µµ¦«¹
¬µµ¦Á¦¸
¥¤¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤
Å°°År
¸É
笼
°o
ª¥ª·
¸
¸
¸
¦¸
°¸
¢ ¤¸
¦° {
Á°¦·
Á¡ºÉ
°«¹
¬µ¨
°Î
µÂ®n
ª´
»
¦°¦´
µ¹É
¨µÂÃĪ¦´
«¤¸
n
°Ã¦¦o
µ
°¢d
¨r
¤µÅµÁ¸
¥¤Å°°År
Î
µ®¦´
Á}
o
°¤¼
¨¡ºÊ
µ
ĵ¦ª·
´
¥n
°Å
°»
¦r
¨³ª·
¸
µ¦
¢d
¨r
¤µÅµÁ¸
¥¤Å°°År
笼
°Ân
·
¨·
°o
ª¥¦³Â¤¸
¦°{
Á°¦·
¦¼
¸É
1 Â
n
ª¦³°n
µÇ
°¦³Á¨º
° ¹É
µ¦Á¨º
°¢d
¨r
¤µÅµÁ¸
¥¤Å°°År
¦´Ê
¸Ê
Äo
Á¡¸
¥ 1 ÂÃÁn
µ´Ê
Áj
µµ¦Á¨º
°Î
µµÃ¨®³ÅµÁ¸
¥¤ªµ¤¦·
»
·Í
99.97% Áo
n
殬
¥r
¨µ 54 mm ¦³¥³®n
µ¦³®ªn
µÁj
µµ¦
笼
°´
Ân
ªµª´
»
¦°¦´
(d
s-t
) ¸É
12 cm Ã¥Ân
¨³¦´Ê
°µ¦Á¨º
°³¦´
Î
µÂ®n
ª´
»
¦°¦´
°°µ
¹É
¨µÂÃĪ¦´
«¤¸
(d
x
) ¦´Ê
¨³ 2 cm
´Ê
°µ¦Á¨º
°Á¦·É
¤o
ª¥Î
µª´
»
¦°¦´
Á
o
µÄ®o
°Á¨º
°µ¤
Î
µÂ®n
¸É
o
°µ¦ µ´Ê
¨ªµ¤´
Įo
°Á¨º
°Ä®o
Åo
ªµ¤´
¡ºÊ
Án
µ´
5x10
-5
mbar n
°µ¦Á¨º
°³Î
µ
ªµ¤³°µ®o
µÁj
µµ¦Á¨º
°Ä¦¦¥µµ«
°Âp
°µ¦r
°Á¡ºÉ
°Á°µ´Ê
°°°År
n
µÇ °°µ®o
µÁj
µ
µ´Ê
¨n
°¥Âp
°µ¦r
° (ªµ¤¦·
»
·Í
99.999%) ¨³Âp
°°·
Á (ªµ¤¦·
»
·Í
99.999%) Á
o
µÅÄ®o
°
笼
°o
ª¥»
ª»
¤µ¦Å®¨¤ª¨Âp
° MKS Type247D Î
µ®Ä®o
¸É
Án
µ´
1 sccm ¨³ 6 sccm µ¤¨Î
µ´
Ã¥ª»
¤ªµ¤´
³Á¨º
°Ä®o
¸É
Án
µ´
5x10
-3
mbar ¨³Î
µ¨´
Å¢¢j
µÁn
µ´
210 W ¨°µ¦Á¨º
°