เอกสารการประชุมวิชาการและเสนอผลงานวิจัย มหาวิทยาลัยทักษิณ ครั้งที่ 19 2552 - page 123

„µ¦ž¦³»
¤ª·
µ„µ¦Â¨³Áœ°Ÿ¨Šµœª·
‹´
¥ ¤®µª·
š¥µ¨´
¥š´
„¬·
– ‡¦´Ê
Šš¸É
19 ž¦³‹Î
µže
2552
2
‡Î
µœÎ
µ
¢d
¨r
¤µŠÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
ŗo
¦´
‡ªµ¤œÄ‹«¹
„¬µ°¥n
µŠ„ªo
µŠ…ªµŠÄœn
ªŠš¸É
Ÿn
µœ¤µÁœºÉ
°Š‹µ„¤¸
¤´
˜·
š¸É
œn
µœÄ‹®¨µ¥ž¦³„µ¦ Án
œ ¤´
˜·
„µ¦n
ŠŸn
µœÂŠ—¸
¤¸
‡n
µ—´
œ¸
®´
„Á®¼
Š (Toshihiro
et al.
, 2001) ¤¸
Á™¸
¥¦£µ¡šµŠÁ‡¤¸
(Satashi
et al.
, 2001) ŚšµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
¥´
Šµ¤µ¦™œÎ
µÅžÁ‡¨º
°Á¡ºÉ
°žj
°Š„´
œŸ·
ª®œo
µ…°Š°»
ž„¦–r
šµŠÂŠÅ—o
ÁœºÉ
°Š‹µ„Áž}
Ϣd
¨r
¤Ä¤¸
‡ªµ¤Â…È
Š¼
Š šœ˜n
°„µ¦…¼
—…¸
—¨³¢d
¨r
¤Ä¨³¤¸
¤´
˜·
šÎ
µ‡ªµ¤³°µ—˜´
ªÁ°ŠÅ—o
(Yamagishi
et al.
, 2003) œ°„‹µ„œ¸Ê
µ¦ž¦³„°ÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
¥´
ŠÂ—Š¤´
˜·
°ºÉ
œÇ °¸
„®¨µ„®¨µ¥¦¼
žÂ
ž„˜·
Ĝ›¦¦¤µ˜·
‹³¡ÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
Ĝ 3 Á¢‡º
° °œµÁš (anatase) ¦¼
Ś¨r
(rutile) ¦¼
ńšr
(brookite) Ž¹É
ŠÃ—¥ž„˜·
‹³Å¤n
¡Á¢¦¼
ńšr
‹³¡Á¡¸
¥Š°´
–“µœ °œµÁšÂ¨³¦¼
Ś¨r
Ášn
µœ´Ê
œ (Lobl
et al.
, 1994)
Á¢°œµÁš (a = 0.3785 nm, c = 0.9514 nm) ¨³¦¼
Ś¨r
(a =0.4594 nm, c = 0.2958 nm) ¤¸
ǦŠ¦o
µŠŸ¨¹
„
Ášš¦³Ã„œ°¨ (tetragonal) n
ªœÁ¢¦¼
ńšr
(a = 0.918 nm, b = 0.5447 nm, c = 0.5145 nm) ¤¸
ǦŠ¦o
µŠŸ¨¹
„
°°¦r
Ú¦°¤·
„ (orthorhombic) (Brady
et al.
, 1991) Á¢°œµÁš ‹³¤¸
‡n
µ—´
œ¸
„µ¦®´
„Á®ž¦³¤µ– 2.5 ¤¸
Á™¸
¥¦£µ¡
¤µ„‹³¡Á¤ºÉ
°Á˜¦¸
¥¤¢d
¨r
¤š¸É
°»
–®£¼
¤·
˜ÉÎ
µ„ªn
µ 800
Ñ
™o
µ°»
–®£¼
¤·
Ĝ„µ¦Á˜¦¸
¥¤¢d
¨r
¤¤µ„„ªn
µ 800
Ñ
‹³Áž¨¸É
¥œÁž}
œÁ¢¦¼
Ś¨r
Ž¹É
Š¤¸
‡n
µÅ—°·
Á¨È
„š¦·
„Žr
¨³—´
œ¸
®´
„Á®¼
Š„ªn
µÁ¢°œµÁš (n = 2.7) (Palik
et al.
, 1991)
¢d
¨r
¤ÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
µ¤µ¦™Á˜¦¸
¥¤Å—o
‹µ„®¨µ¥ª·
›¸
š´Ê
Šœ¸Ê
Á¤ºÉ
°Áž¦¸
¥Áš¸
¥ª·
›¸
Á˜¦¸
¥¤¢d
¨r
¤Â˜n
µŠÇ
¡ªn
µ„µ¦Á˜¦¸
¥¤—o
ª¥ª¸
›¸
¦¸
°„˜¸
¢ ž{
˜Á˜°¦·
Š ¤¸
‡ªµ¤Î
µ‡´
¤µ„Á¡¦µ³µ¤µ¦™‡ª‡»
¤´
—n
ªœ…°Š°Š‡r
ž¦³„°¢d
¨r
¤
ŗo
Šn
µ¥Ã—¥„µ¦‡ª‡»
¤ÁŠºÉ
°œÅ…˜´
ªÂž¦˜n
µŠÇ ǦŠ¦o
µŠÂ¨³¤´
˜·
…°Š¢d
¨r
¤ÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
š¸É
Á˜¦¸
¥¤—o
ª¥
—¸
Ž¸
¤„œ¸
˜¦°œ ž{
˜Á˜°¦·
Š œ´Ê
œµ¤µ¦™ž¦´
ž¦»
Š—o
ª¥„µ¦‡ª‡»
¤ÁŠºÉ
°œÅ…Äœ„µ¦Á‡¨º
° Án
œ ‡ªµ¤—´
œ¡ºÊ
œ ‡ªµ¤—´
œ
¦ª¤…–³Á‡¨º
° ‡ªµ¤—´
ϴn
°¥Â„p
°°„Ž·
Á‹œ „Î
µ¨´
ŠÅ¢¢j
µ…°ŠÁžj
µµ¦Á‡¨º
° ¦³¥³®n
µŠ¦³®ªn
µŠÁžj
µµ¦Á‡¨º
°™¹
Š
ª´
—»
¦°Š¦´
 šÎ
µÄ®o
„µ¦«¹
„¬µž{
‹‹´
¥®¦º
°ÁŠºÉ
°œÅ…„µ¦Á‡¨º
°š¸É
¤¸
Ÿ¨˜n
°Ã‡¦Š¦o
µŠÂ¨³¤´
˜·
…°Š¢d
¨r
¤ÅššµÁœ¸
¥¤
ŗ°°„ÅŽ—r
¥´
Š‡ŠÅ—o
¦´
‡ªµ¤œÄ‹°¥n
µŠ˜n
°ÁœºÉ
°Š š‡ªµ¤ª·
‹´
¥œ¸Ê
Áž}
œ¦µ¥Šµœ„µ¦«¹
„¬µ„µ¦Á˜¦¸
¥¤¢d
¨r
¤ÅššµÁœ¸
¥¤
ŗ°°„ÅŽ—r
š¸É
Á‡¨º
°—o
ª¥ª·
›¸
—¸
Ž¸
¦¸
°„˜¸
¢ ¤„œ¸
˜¦°œ ž{
˜Á˜°¦·
Š Á¡ºÉ
°«¹
„¬µŸ¨…°Š˜Î
µÂ®œn
Šª´
—»
¦°Š¦´

‹µ„„¹É
Š„¨µŠÂ‡Ãš—Ĝœª¦´
«¤¸
˜n
°Ã‡¦Š¦o
µŠ…°Š¢d
¨r
¤µŠÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
Î
µ®¦´
Áž}
œ…o
°¤¼
¨¡ºÊ
œ“µœ
Ĝ„µ¦ª·
‹´
¥˜n
°Åž
°»
ž„¦–r
¨³ª·
›¸
„µ¦
¢d
¨r
¤µŠÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
Á‡¨º
°œÂŸn
œŽ·
¨·
„°œ—o
ª¥¦³Â¤„œ¸
˜¦°œž{
˜Á˜°¦·
Š ¦¼
žš¸É
1 —Š
n
ªœž¦³„°˜n
µŠÇ…°Š¦³Á‡¨º
° Ž¹É
Š„µ¦Á‡¨º
°¢d
¨r
¤µŠÅššµÁœ¸
¥¤Å—°°„ÅŽ—r
‡¦´Ê
Šœ¸Ê
čo
Á¡¸
¥Š 1 ‡Ú—Ášn
µœ´Ê
œ
Ážj
µµ¦Á‡¨º
°šÎ
µ‹µ„讳ŚšµÁœ¸
¥¤‡ªµ¤¦·
»
š›·Í
99.97% Áo
œŸn
µœ«¼
ϴr
„¨µŠ 54 mm ¦³¥³®n
µŠ¦³®ªn
µŠÁžj
µµ¦
Á‡¨º
°„´
Âšn
œªµŠª´
—»
¦°Š¦´
 (d
s-t
) ‡Šš¸É
12 cm ץ˜n
¨³‡¦´Ê
Š…°Š„µ¦Á‡¨º
°‹³ž¦´
˜Î
µÂ®œn
Šª´
—»
¦°Š¦´
°°„‹µ„
„¹É
Š„¨µŠÂ‡Ãš—Ĝœª¦´
«¤¸
(d
x
) ‡¦´Ê
Š¨³ 2 cm …´Ê
œ˜°œ„µ¦Á‡¨º
°Á¦·É
¤—o
ª¥œÎ
µª´
—»
¦°Š¦´
Á…o
µÄœ®o
°ŠÁ‡¨º
°˜µ¤
˜Î
µÂ®œn
Šš¸É
˜o
°Š„µ¦ ‹µ„œ´Ê
œ¨—‡ªµ¤—´
πϨo
°ŠÁ‡¨º
°Ä®o
ŗo
‡ªµ¤—´
œ¡ºÊ
œÁšn
µ„´
 5x10
-5
mbar „n
°œ„µ¦Á‡¨º
°‹³šÎ
µ
‡ªµ¤³°µ—®œo
µÁžj
µµ¦Á‡¨º
°Äœ¦¦¥µ„µ«…°ŠÂ„p
°µ¦r
„°œÁ¡ºÉ
°Á°µ´Ê
œ…°Š°°„ÅŽ—r
˜n
µŠÇ °°„‹µ„®œo
µÁžj
µ
‹µ„œ´Ê
œž¨n
°¥Â„p
°µ¦r
„°œ (‡ªµ¤¦·
»
š›·Í
99.999%) ¨³Â„p
°°„Ž·
Á‹œ (‡ªµ¤¦·
»
š›·Í
99.999%) Á…o
µÅžÄœ®o
°Š
Á‡¨º
°—o
ª¥»
—‡ª‡»
¤„µ¦Å®¨¤ª¨Â„p
…°Š MKS Type247D „Î
µ®œ—Ä®o
‡Šš¸É
Ášn
µ„´
 1 sccm ¨³ 6 sccm ˜µ¤¨Î
µ—´

×¥‡ª‡»
¤‡ªµ¤—´
œ…–³Á‡¨º
°Ä®o
‡Šš¸É
Ášn
µ„´
 5x10
-3
mbar ¨³„Î
µ¨´
ŠÅ¢¢j
µÁšn
µ„´
 210 W ˜¨°—„µ¦Á‡¨º
°
1...,113,114,115,116,117,118,119,120,121,122 124,125,126,127,128,129,130,131,132,133,...1457
Powered by FlippingBook