152
¨µ¦ª·
´
¥Â¨³°£·
¦µ¥¨
æ¦o
µ¨¹
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
Á¤ºÉ
°Î
µ¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
¸É
Åo
Ū·
Á¦µ³®r
æ¦o
µ¨¹
o
ª¥Á·
XRD Åo
¨´
£µ¡¸É
2
¡ªn
µ¢d
¨r
¤Á¨º
°¸É
°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
ÁÁn
µ´
2 sccm ¨³ 4 sccm ¡¦¼
µ¦Á¨¸Ê
¥ªÁ¦´
¸
Á°r
¸É
¤»
¤ 2
T
Án
µ´
25.3
O
¹É
¦´
ŵÁ¸
¥¤Å°°År
¸É
¤¸
æ¦o
µ¨¹
°µÁ¦³µ (101) ¨³Á¤ºÉ
°°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
ÁÁ¡·É
¤Á}
6 sccm ¡¦¼
µ¦Á¨¸Ê
¥ªÁ¦´
¸
Á°r
´
Á¸É
¤»
¤ 2
T
Án
µ´
25.3
O
¤¸
¨´
¬³Á}
äÁ¨È
Ç
¸É
¤»
¤ 48.1
O
¹É
¦´
ŵÁ¸
¥¤Å°°År
æ¦o
µ¨¹
°µÁ¦³µ (101) ¨³ (200) µ¤¨Î
µ´
°¨o
°´
µª·
´
¥
° Zeman and Takabayashi (2002) ¹É
¡ªn
µÁ¤ºÉ
°Âp
°°·
ÁÁ¡·É
¤
¹Ê
¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤
Å°°År
³¤¸
ªµ¤Á}
¨¹
¤µ
¹Ê
缃
°µªµ¤®µÂn
°Âp
Ħ³ªµ¦Á¨º
°Á¡·É
¤
¹Ê
Î
µÄ®o
¡¨´
µ
°°»
£µµ¦Á¨º
°¤¸
n
µ¼
¹Ê
¹É
n
¨n
°µ¦Á·
¨¹
°¢d
¨r
¤Ä¦¸
¸Ê
Á¤ºÉ
°°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
ÁÁ¡·É
¤
¹Ê
¢d
¨r
¤¸É
笼
°Åo
¹
¤¸
ªµ¤Á}
¨¹
¤µ
¹Ê
o
ª¥
£µ¡¸É
2 ¦¼
µ¦Á¨¸Ê
¥ªÁ¦´
¸
Á°r
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
笼
°o
ª¥°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
Án
µ´
ªµ¤®µÂ¨³¨´
¬³¡ºÊ
·
ª
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
¨µ¦ª·
Á¦µ³®r
ªµ¤®µÂ¨³¨´
¬³¡ºÊ
·
ª
°¢d
¨r
¤¸É
笼
°Åo
o
ª¥Á·
AFM ¡ªn
µ ªµ¤®µÂ¨³
ªµ¤®¥µ·
ª
°¢d
¨r
¤Á¨¸É
¥Â¨Åµ¤°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
Á Ã¥Á¤ºÉ
°°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
ÁÁ¡·É
¤
¹Ê
ªµ¤®µ¢d
¨r
¤¤¸
n
µ¨¨µ 140 nm Á}
119 nm n
ªªµ¤®¥µ·
ª¤¸
n
µÁ¡·É
¤
¹Ê
µ 2.6 nm Á}
3.6 nm (£µ¡¸É
3)
£µ¡¸É
4 嬫
¬³¡ºÊ
·
ª
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
¹É
¤¸
µ¦Á¨¸É
¥Â¨Åµ¤n
µ°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
Á Ã¥¢d
¨r
¤¸É
笼
°o
ª¥°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
ÁÁn
µ´
2 sccm ¡Á¦
µÁ¨È
Įn
¨µ¥Â®¨¤¤
³´
¦³µ¥Äµ¦·
Áª (£µ¡¸É
4(a)) Á¤ºÉ
°°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
ÁÁ¡·É
¤Á}
4 sccm ¡ªn
µÁ¦¤¸
µÃ
¹Ê
(£µ¡¸É
4(b)) »
o
µ¥Á¤ºÉ
°°´
¦µÅ®¨Âp
Án
µ´
6 sccm ¡ªn
µ ¡ºÊ
·
ª¤¸
¨´
¬³
¦»
¦³Á¦Á¦·É
¤¤¸
µ¦Áµ³¨»n
¤¤µ
¹Ê
(£µ¡¸É
4(c)) °¨o
°´
µª·
´
¥
° Syarif
et al.
(2002) ¹É
¡ªn
µªµ¤®µÂ¨³ªµ¤®¥µ·
ª
°¢d
¨r
¤³
Á¨¸É
¥Åµ¤°´
¦µÅ®¨
°Âp
°°·
Á ĵª·
´
¥¸Ê
¡ªn
µÁ¤º
É
°°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
ÁÁ¡·É
¤
¹Ê
ªµ¤®µ¢d
¨r
¤
¨¨
³¸É
ªµ¤®¥µ·
ª¤¸
n
µÁ¡·É
¤
¹Ê