151
µ¦Á¦¸
¥¤¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
Î
µµ¤Âªµµ¦«¹
µ
° ¡¹É
»
¨³³ (2552) Á¦·É
¤µ
Î
µ·Ê
µÁ
o
µ®o
°Á¨º
° ¨o
ª¨ªµ¤´
Įo
Åo
ªµ¤´
¡ºÊ
Án
µ´
5x10
-5
mbar µ´Ê
¨n
°¥Âp
°µ¦r
°Â¨³
Âp
°°·
ÁÁ
o
µ®o
°Á¨º
° Î
µ®Ä®o
°´
¦µÅ®¨Âp
°µ¦r
°¸É
Án
µ´
1
sccm ¨³Â¦n
µ°´
¦µÅ®¨
Âp
°°·
ÁÁn
µ´
2, 4 , 6 sccm Ã¥ª»
¤ªµ¤´
³Á¨º
°Ä®o
¸É
Án
µ´
5x10
-3
mbar ¦³¥³®n
µ¦³®ªn
µ
Áj
µµ¦Á¨º
°´
Ân
ªµª´
»
¦°¦´
(d
s-t
) Án
µ´
120 mm ¨³ªµª´
»
¦°¦´
¸É
Î
µÂ®n
Ī¦´
«¤¸
(d
x
) Án
µ´
40 mm Äo
Î
µ¨´
Å¢¢j
µÁn
µ´
210 W ¸É
¨°µ¦Á¨º
° Ã¥¢d
¨r
¤Ân
¨³»
笼
°µ 180 µ¸
Î
µ¢d
¨r
¤¸É
笼
°Åo
Ū·
Á¦µ³®r
æ¦o
µ¨¹
o
ª¥Á¦ºÉ
°Á¨¸Ê
¥ªÁ¦´
¸
Á°r
(X-ray Diffractometer; XRD)
° Rigaku ¦»n
Rint 2000 ¦ªª´
 2
T
-scan o
ª¥¤»
¤¦³Á¸
¥ (glazing incident angle) Án
µ´
3
O
¨³
¦µo
ª¥¤»
¤ 2
T
µ 20
O
- 65
O
o
ª¥°´
¦µ 2
O
n
°µ¸
ªµ¤®µÂ¨³¨´
¬³¡ºÊ
·
ª
°¢d
¨r
¤¦ªª´
o
ª¥Á¦ºÉ
°
°³°¤¤·
¢°¦r
Ťæà (Atomic Force Microscope; AFM)
° Veeco Instrument Inc.¦»n
Nano Scope IV
¤´
·
âó³Å¨·
°¢d
¨r
¤¡·
µ¦µµµ¦¥n
°¥¨µ¥µ¦¨³¨µ¥Á¤¸
¨¸
¨¼
¹É
Äo
Á}
´
ªÂ
µ¦°·
¦¸
¥r
Ã¥Ân
¦³Á¨º
°¢d
¨r
¤Äµ¦¨³¨µ¥Á¤¸
¨¸
¨¼
ªµ¤Á
o
¤
o
Án
µ´
1 mmol/l ¨o
ªÎ
µÄ®o
®o
ĸÉ
¤º
µ´Ê
ª´
n
µµ¦n
n
µÂ¸É
ªµ¤¥µª¨ºÉ
ÂÁn
µ´
650 nm o
ª¥Á¦ºÉ
°Áæâä·
Á°¦r
Įo
Á}
n
µ
T
O
µ´Ê
Î
µÅ¦´
填
¨¦µÅªÃ°Á¨µ®¨°°´
¨¦µÅªÃ°Á¨ Ã¥»
1 ´É
ªÃ¤³Î
µ°°¤µª´
n
µµ¦n
n
µÂ
Įo
Á}
n
µ
T
i
¤´
·
âó³Å¨·
°¢d
¨r
¤°Åo
o
ª¥ n
µÂ°°¦r
Âr
(absorbance;
'
ABS) µ¤µ¦
'
ABS = ln
T
O
/
T
i
(Zeman and Takabayashi, 2002) n
ª¤´
·
űæ¢d
¨·
°¢d
¨r
¤¡·
µ¦µµn
µ¤»
¤´
¤´
°
ÊÎ
µ¨´É
¸É
®¥·
ª®o
µ¢d
¨r
¤o
ª¥Á¦ºÉ
°ª´
¤»
¤´
¤´
(contact angle meter) Ã¥Î
µ¦³Å¨r
¸É
笼
°¢d
¨r
¤Â¨o
ª
Ū´
n
µ¤»
¤´
¤´
n
°¦´
填
¨¦µÅªÃ°Á¨ µ´Ê
Î
µÅµ¥¦´
填
¨¦µÅªÃ°Á¨Â¨³Î
µ¤µª´
n
µ¤»
¤´
¤´
»
1 ´É
ªÃ¤ °o
µ¥¨°Á¦¸
¥¤¦³Áµn
°®¨´
¸É
¤¸
¤´
·
Î
µªµ¤³°µ´
ªÁ° Ã¥Á¨º
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤
Å°°År
¸É
¤¸
æ¦o
µ¨¹
°µÁ·
ª®o
µ
°¦³Áµn
°®¨´
笼
°Ã¦Á¤¸
¥¤µª·
¸
{
Á°¦·
¹É
Įo
³o
°¸É
ª¨µ¤µªn
µ¦³Áµn
°®¨´
·
笼
°°³¨¼
¤·
Á¸
¥¤ (·
¦´
¦r
¨³³, 2552) ¨o
ªÎ
µÅ
¦´
填
¨¦µÅªÃ°Á¨ µ 1 ´É
ªÃ¤ °¤´
·
Î
µªµ¤³°µ´
ªÁ°Ã¥¸
¨³°°ÊÎ
µÅ·
ª®o
µ¦³
¨o
ª´
Áµ¦´
´
ª
°®¥ÊÎ
µÁ¡ºÉ
°¦³Á¤·
ªµ¤Á}
ÅÅo
ĵ¦Á}
¦³Î
µªµ¤³°µ´
ªÁ°n
°Å
(a)
(b)
£µ¡¸É
1 Á¦ºÉ
°Á¨º
°Ä»
µµ«¦³ ¸
¸
¤¸
¦° {
Á°¦·
¸É
Äo
ĵª·
´
¥
(a) ¨´
¬³
°Á¦ºÉ
°Á¨º
°
(b) Å°³Â¦¤
°Á¦ºÉ
°Á¨º
°