154
¤´
·
űæ¢d
¨·
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
¤´
·
űæ¢d
¨·
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
ĵª·
´
¥¸Ê
¡·
µ¦µµn
µ¤»
¤´
¤´
°ÊÎ
µ¨´É
·
ª®o
µ
°¢d
¨r
¤ £µ¡¸É
6 Ân
µ¤»
¤´
¤´
°¦³¸É
Ťn
笼
°Â¨³Á¨º
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
n
°Â¨³
®¨´
¦´
填
¨¦µÅªÃ°Á¨Á}
¦µ¥´É
ªÃ¤ ³Á®È
ªn
µ¤»
¤´
¤´
°ÊÎ
µ¨´É
·
ª®o
µ¦³¸É
Ťn
笼
° n
°Î
µÅ
¦´
填
¨¦µÅªÃ°Á¨¤¸
n
µÁn
µ´
20
O
Á¤ºÉ
°Î
µÅ¦´
填
¨¦µÅªÃ°Á¨µ 6 ´É
ªÃ¤ ¡ªn
µ¤»
¤´
¤´
¤¸
n
µÁn
µÁ·
¤
ªn
µ¦³¦¦¤µ¸É
Ťn
笼
°¢d
¨r
¤Å¤n
¤¸
¤´
·
űæ¢d
¨·
n
ª¦³Á¨º
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
¸É
°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
ÁÁn
µ´
2 sccm 4 sccm ¨³ 6 sccm ¡ªn
µ¤»
¤´
¤´
n
°¦´
填
¨¦µÅªÃ°Á¨
¤¸
n
µÁn
µ´
55
O
, 20
O
¨³ 60
O
µ¤¨Î
µ´
¨³Á¤ºÉ
°Î
µÅ¦´
填
¨¦µÅªÃ°Á¨¡ªn
µ¤»
¤´
¤´
¤¸
n
µ¨¨Á}
0
O
Ä
Áª¨µÁ¡¸
¥ 1 ´É
ªÃ¤ ÂÄ®o
Á®È
ªn
µ¦³Á¨º
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
ĵª·
´
¥¸Ê
µ¤µ¦Â¤´
·
»
Á°¦r
űæ¢d
¨·
Åo
´Ê
®¤
£µ¡¸É
5 n
µÂ°°¦r
Âr
°¦³¸É
Ťn
笼
°Â¨³
笼
°¢d
¨r
¤¸É
°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
Án
µ´
£µ¡¸É
6 n
µ¤»
¤´
¤´
°¦³¸É
Ťn
笼
°Â¨³
笼
°¢d
¨r
¤¸É
°´
¦µÅ®¨Âp
°°·
Án
µ´
(a)
(b)
(c)
£µ¡¸É
7 ´
ª°¥n
µµ¦ª´
n
µ¤»
¤´
¤´
°¦³¸É
Ťn
笼
°Â¨³Á¨º
°¢d
¨r
¤ÅµÁ¸
¥¤Å°°År
ĵª·
´
¥¸Ê
(a) ¦³¦¦¤µÅ¤n
笼
°¢d
¨r
¤n
°Â¨³®¨´
¦´
填
¨¦µÅªÃ°Á¨ ¤»
¤´
¤´
¤¸
n
µÁn
µ´
20
O
(b) ¦³Á¨º
°¢d
¨r
¤n
°¦´
填
¨¦µÅªÃ°Á¨ ¤»
¤´
¤´
¤¸
n
µ¦³¤µ 55
O
(c) ¦³Á¨º
°¢d
¨r
¤®¨´
¦´
填
¨¦µÅªÃ°Á¨µ 1 ´É
ªÃ¤ ¤»
¤´
¤´
¤¸
n
µÁn
µ´
0
O