full2010.pdf - page 191

153
£µ¡š¸É 3 ‡ªµ¤®œµÂ¨³‡ªµ¤®¥µŸ·ª °Š¢d¨r¤ÅššµÁœ¸¥¤Å—°°„ÅŽ—rš¸É Á‡¨º°—o ª¥°´˜¦µÅ®¨Â„p °°„Ž·Á‹œ˜nµŠ„´œ
(a) (b) (c)
£µ¡š¸É 4 ¨´„¬–³¡ºÊœŸ·ªš¸Éª·Á‡¦µ³®r—oª¥Áš‡œ·‡ AFM °Š¢d¨r¤š¸ÉÁ‡¨º°—oª¥°´˜¦µÅ®¨Â„p °°„Ž·Á‹œ˜n µŠ„´œ
(a) 2 sccm (b) 4 sccm (c) 6 sccm
¤´ ˜·Ã¢Ã˜‡³˜³Å¨˜· „ °Š¢d¨r¤ÅššµÁœ¸¥¤Å—°°„ÅŽ—r
¤´˜·Ã¢Ã˜‡³˜³Å¨˜· „ °Š¢d ¨r¤ÅššµÁœ¸¥¤Å—°°„ÅŽ—rĜŠµœª· ‹´¥œ¸Ê¡· ‹µ¦–µ‹µ„„µ¦¥n°¥¨µ¥ °Š
µ¦¨³¨µ¥Á¤š¸¨¸œ¼¨Ž¹ÉŠÄo Áž}œ˜´ªÂšœ °Šµ¦°·œš¦¸¥r‹µ„‡nµÂ°Ž°¦rÂœŽr £µ¡š¸É 5 —Š‡nµÂ°Ž°¦rÂœŽr
°Š·ÊœŠµœÁ¤ºÉ°¦´ÂŠ°´¨˜¦µÅªÃ°Á¨˜ „¦–¸„¦³‹„Áž¨nµš¸É ŤnÁ‡¨º °¢d¨r¤¡ªnµ‡nµÂ°Ž°¦rÂœŽr¤¸‡nµÁšnµ„´ 0.000
‡Šš¸É ˜¨°—„µ¦š—¨°Š nªœ„¦–¸ „¦³‹„Á‡¨º°¢d ¨r¤¡ªn µ‡n µÂ°Ž°¦rÂœŽr „n°œ¦´ÂŠ°´ ¨˜¦µÅªÃ°Á¨˜
¤¸‡nµÁšnµ„´ 0.000 ¨³¨—¨Š˜µ¤Áª¨µÁ¤ºÉ°œÎµÅž¦´ÂŠ°´¨˜¦µÅªÃ°Á¨˜œµœ 6 ´ÉªÃ¤Š (Î µ®¦´š»„·Ê œŠµœš¸Éš—¨°Š)
×¥¢d¨r¤š¸É Á‡¨º°—oª¥°´˜¦µÅ®¨Â„p °°„Ž· Á‹œÁšnµ„´ 2 sccm ¨³ 6 sccm ‡nµÂ°Ž°¦r ÂœŽr¨—¨Š‹µ„ 0.000
Áž}œ -0.025 –³š¸É¢d ¨r¤š¸É Á‡¨º°—o ª¥°´˜¦µÅ®¨Â„p °°„Ž·Á‹œÁšn µ„´ 4 sccm ‡nµÂ°Ž°¦rÂœŽr¤¸ ‡nµ¨—¨Š
Áž}œ -0.046 °—‡¨o°Š„´Šµœª·‹´¥ °Š Syarif et al. (2002) ¨³ Liu et al . (2005) š¸É¦µ¥ŠµœªnµÁ¤ºÉ °°´˜¦µÅ®¨
„p °°„Ž·Á‹œÁ¡·É¤ ¹Êœ¢d¨r¤ÅššµÁœ¸¥¤Å—°°„ÅŽ—r‹³¤¸ ¤´˜·Ã¢Ã˜‡³˜³Å¨˜·„—¸ ¹Êœ