Substrate
Unbalanced Magnetron
Cathode
Cathode Shield
d
s-t
to vacuum pump system
Target
Substrate holder
Motor
DC power
supply
N S N
MFC
MFC
Ar
O
2
Shutter
ภาพที่
1 ลั
กษณะของเครื่
องเคลื
อบที่
ใช้
ในงานวิ
จั
ย
ภาพที่
2 ไดอะแกรมของเครื่
องเคลื
อบที่
ใช้
ในงานวิ
จั
ย
การเคลื
อบฟิ
ล์
มบางไทเทเนี
ยมไดออกไซด์
เริ่
มจากนํ
าวั
สดุ
รองรั
บได้
แก่
แผ่
นซิ
ลิ
กอน (สํ
าหรั
บตรวจสอบ
โครงสร้
างผลึ
ก) และกระจกสไลด์
(สํ
าหรั
บทดสอบความสามารถในการฆ่
าเชื
้
อ) เข้
าห้
องเคลื
อบจั
ดให้
ห่
างจากหน้
าเป้
า
สารเคลื
อบเท่
ากั
บ 12 cm ลดความดั
นในห้
องเคลื
อบให้
ได้
ความดั
นพื
้
นเท่
ากั
บ 5.0 x 10
-5
mbar จากนั
้
นปล่
อยแก๊
สเข้
า
ห้
องเคลื
อบ โดยกํ
าหนดให้
แก๊
สอาร์
กอนคงที่
เท่
ากั
บ 1 sccm และแปรค่
าอั
ตราไหลแก๊
สออกซิ
เจน 3 ค่
าคื
อ 2 sccm, 4 sccm
และ 6 sccm โดยฟิ
ล์
มแต่
ละชุ
ดใช้
เวลาเคลื
อบนาน 120 นาที
และใช้
กํ
าลั
งไฟฟ้
าคงที่
เท่
ากั
บ 220 W ตลอดการเคลื
อบ
ฟิ
ล์
มที่
เคลื
อบได้
ทั
้
งหมดนํ
าไปศึ
กษาโครงสร้
างผลึ
กด้
วยเครื่
องเลี
้
ยวเบนรั
งสี
เอกซ์
(X-ray Diffractometer;
XRD) ของ Rigaku รุ
่
น Rint 2000 โดยใช้
Cu-K
D
(
O
= 1.54056 Å) ที่
40 kV และ 40 mA ตรวจวั
ดแบบ 2
T
-scan ด้
วย
มุ
มตกกระทบเฉี
ยง (Grazing incident angle) คงที่
เท่
ากั
บ 3
O
สแกน 2
T
จาก 20
O
ถึ
ง 80
O
และศึ
กษาลั
กษณะพื
้
นผิ
ว
ความหนาและความหยาบผิ
ว (
R
rms
) ของฟิ
ล์
มบางที่
เคลื
อบได้
ด้
วยเครื่
องอะตอมมิ
คฟอร์
ซไมโครสโคป (Atomic Force
Microscope; AFM) ของ Veeco Instruments Inc. รุ
่
น Nanoscope IV ตรวจวั
ดแบบ tapping mode บนผิ
วหน้
าฟิ
ล์
มบาง
µ¦«¹
¬µªµ¤µ¤µ¦Äµ¦n
µÁº
Ê
°Â¸
Á¦¸
¥
°¢·
¨r
¤µÅÁÁ¸
¥¤Å°°År
งานวิ
จั
ยนี
้
ใช้
เชื
้
อ
E. coli
สํ
าหรั
บทดสอบความสามารถในการฆ่
าเชื
้
อ การเตรี
ยมเชื
้
อเริ่
มจากนํ
าเชื
้
อ
E. coli
(จากกรมวิ
ทยาศาสตร์
การแพทย์
กระทรวงสาธารณสุ
ข) บ่
มบนอาหารเหลว Nutrient Broth ในขวดรู
ปชมพู
่
แบบให้
อากาศบนเครื่
องเขย่
าแบบวงกลม 150 รอบ/นาที
ที่
อุ
ณหภู
มิ
37
o
C นาน 16 ชั่
วโมง เตรี
ยมเชื
้
อ
E. coli
ให้
มี
ความเข้
มข้
น
ความขุ
่
นของเซลล์
10
8
CFU/ml เที
ยบเท่
ากั
บ Mcfarland Solution Standards No. 0.5 (O.D. 0.2 ที่
ความยาวคลื่
น 600 nm)
แล้
วนํ
ามาปรั
บความเข้
มข้
นความขุ
่
นของเซลล์
ให้
ได้
10
7
CFU/ml โดยการนํ
าเซลล์
มาเจื
อจางด้
วยนํ
้
ากลั่
นปราศจากเชื
้
อ
ด้
วยวิ
ธี
10 - Fold Dilution Methods
การทดสอบความสามารถในการฆ่
าเชื
้
อ เริ่
มจากนํ
าเซลล์
เชื
้
อ
E. coli
ความเข้
มข้
นความขุ
่
นเท่
ากั
บ 10
7
CFU/ml
ปริ
มาตร 10
P
l หยดบนกระจกที่
ไม่
เคลื
อบและเคลื
อบฟิ
ล์
มบางไทเทเนี
ยมไดออกไซด์
ที่
มี
เฟสอนาเทส ซึ
่
งเคลื
อบด้
วย
อั
ตราไหลแก๊
สออกซิ
เจนเท่
ากั
บ 6 sccm ในจานอาหารเลี
้
ยงเชื
้
อ แล้
วปิ
ดทั
บด้
วยกระจกปิ
ดสไลด์
นํ
าไปรั
บแสงยู
วี
ใน
กล่
องทึ
บแสงจากหลอดอั
ลตราไวโอเลต ของ Phillips รุ
่
น CLEO COMPACT ขนาด 15 W ที่
เวลา 0, 5, 10, 15, 20 และ
25 นาที
นํ
ามาเก็
บเกี่
ยวเซลล์
ด้
วยนํ
้
ากลั่
นปราศจากเชื
้
อ ปริ
มาตร 9 ml บนเครื่
องเขย่
าแบบวงกลม นาน 10 นาที
แล้
ว
เจื
อจางเซลล์
เชื
้
อ
E. coli
ด้
วยนํ
้
ากลั่
นปราศจากเชื
้
อด้
วยวิ
ธี
10 - Fold Dilution Methods ให้
อยู
่
ในช่
วง 10
-1
– 10
-5
จากนั
้
น
นํ
าเซลล์
เชื
้
อ
E. coli
แต่
ละระดั
บความเจื
อจางปริ
มาตร 0.1 ml ไปเพาะเลี
้
ยงบนอาหาร Desoxycholate Agar ด้
วย
วิ
ธี
Spread Plate โดยบ่
มที่
อุ
ณหภู
มิ
37
o
C เป็
นเวลา 24 ชั่
วโมง สุ
ดท้
ายตรวจนั
บจํ
านวนเซลล์
เชื
้
อ
E. coli
เหลื
อรอด
408
การประชุ
มวิ
ชาการระดั
บชาติ
มหาวิ
ทยาลั
ยทั
กษิ
ณ ครั้
งที่
22 ประจำปี
2555