full2012.pdf - page 409

Ÿ¨„µ¦ª·‹´¥Â¨³°£·ž¦µ¥Ÿ¨„µ¦ª·‹´¥
¨´„¬–³„µ¥£µ¡Â¨³Ã‡¦Š¦o µŠŸ¨¹„ °Š¢· ¨r ¤µŠÅšÁšÁœ¸¥¤Å—°°„ÅŽ—r
ฟิ ล์มบางไทเทเนี ยมไดออกไซด์ ที่เคลือบได้บนกระจกสไลด์ เมื่ อสังเกตด้วยตาเปล่าพบว่าฟิ ล์มที่เคลือบได้มี
ลักษณะใสส่งผ่ านแสงได้ดี มีเฉดสี ม่วงอ่อนๆ ดังแสดงในภาพที่ 3 สําหรับอัตราเคลื อบของฟิ ล์มไทเทเนี ยมไดออกไซด์
เมื่อแปรค่าอัตราไหลแก๊สออกซิเจน (หาจากค่าความหนาฟิ ล์มหารด้วยเวลาที่ใช้เคลือบฟิ ล์ม) ดังแสดงในภาพที่ 4 พบว่า
ที่ อัตราไหลแก๊สออกซิ เจนตํ่าเท่ากับ 2 sccm อัตราเคลือบมีค่าประมาณ 1.4 nm/min และลดลงเท่ ากับ 1.1 nm/min
เมื่ออัตราไหลแก๊สออกซิเจนเพิ่มเป็ น 6 sccm เนื่ องจากเมื่ออัตราไหลแก๊สออกซิเจนเพิ่มขึ้ นทําให้ปริ มาณแก๊สออกซิเจน
ในห้องเคลือบมีค่ามากขึ้ น ทําให้แก๊สออกซิ เจนมีโอกาสรวมตัวกับอะตอมไทเทเนียมบริ เวณผิ วหน้าเป้ าสารเคลือบแล้ว
เกิดเป็ นชั้นบางๆ ของสารประกอบไทเทเนี ยมไดออกไซด์ (TiO2) ส่ งผลให้ อัตราการสปั ตเตอร์สารเคลือบ (Ti) มีค่าลดลง
เพราะอัตราการสปัตเตอร์ ของสารประกอบไทเทเนียมไดออกไซด์ (TiO2) มีค่าตํ่ากว่าโลหะไทเทเนี ยม (Ti)
ภาพที่ 3 ลักษณะฟิ ล์มบางไทเทเนี ยมไดออกไซด์ที่เคลื อบ
บนกระจกสไลด์อัตราไหลแก๊สออกซิ เจนต่างๆ
ภาพที่ 4 อัตราเคลื อบของฟิ ล์มบางไทเทเนี ยมไดออกไซด์
ที่ เคลือบด้วยอัตราไหลแก๊สออกซิ เจนต่างๆ
ภาพที่ 5 รู ปแบบการเลี้ ยวเบนรังสีเอกซ์ ของฟิ ล์มบางไทเทเนี ยมไดออกไซด์ที่เคลื อบด้วยอัตราไหลแก๊สออกซิ เจนต่ างๆ
2 sccm 4 sccm 6 sccm
409
การประชุมวิชาการระดับชาติ มหาวิ ทยาลัยทักษิณ ครั้งที่ 22 ประจำปี 2555